Spécifications

-------------------
Heures de travail
Heures sous tension
État bon
Aux normes locales ---------
Statut

description

Four LPCVD de 200 mm
tube 1 : TEOS/anneau
tube 2 : Nitrure/poly, raccords de gaz : air faible N2, N2, FG1, Ar, O2, SiH2Cl2(DCS), SiH4, NH3
2 pompes à vide Kashiyama avec souffleurs
Contrôleur de source de dopant Schumacher M-Dot
dimensions du four 66x36x78
module de gaz dims : 18x36x78
puissance requise : 480v, 250amps max

Veuillez noter que cette description a pu être traduite automatiquement, merci de nous contacter si vous avez besoin d'informations complémentaires. Les informations de cette annonce ne sont données qu'à titre indicatif. Nous recommandons de les vérifier avec le vendeur avant tout achat


Type de client Revendeur
Actif depuis 2019
Offres en ligne 73
Dernière activité 21 novembre 2024

Description

Four LPCVD de 200 mm
tube 1 : TEOS/anneau
tube 2 : Nitrure/poly, raccords de gaz : air faible N2, N2, FG1, Ar, O2, SiH2Cl2(DCS), SiH4, NH3
2 pompes à vide Kashiyama avec souffleurs
Contrôleur de source de dopant Schumacher M-Dot
dimensions du four 66x36x78
module de gaz dims : 18x36x78
puissance requise : 480v, 250amps max

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