description
SSEC CLEAN 3300
MODÈLE : M3302
208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP
Date de fabrication : 8/30/05
AC Dwg No. 330i1712
1) la plaquette est trempée dans un mélange de solvants (nettoyage par immersion)
2) traitement par pulvérisation de solvants (traitement par pulvérisation en éventail) et séchage à l'azote.
L'unité est dotée d'un système de séchage à l'entrée et à la sortie (dry wafers in/ dry wafers out).
Le nettoyage des TSV après la gravure DRIE est essentiel pour la fiabilité des circuits intégrés 2,5D et 3D. Le système propriétaire de SSEC
de SSEC minimise le temps de pulvérisation et l'utilisation de produits chimiques pour un coût d'exploitation inférieur à celui de la technologie de nettoyage par trempage et pulvérisation.
que les approches conventionnelles de banc humide ou de pulvérisation unique ; elle a permis d'atteindre 100 % de la photorésistance et de la paroi latérale.
de la paroi latérale 5 fois plus rapidement que par pulvérisation seule.
L'outil est doté d'un logiciel de trempage à temps égal pour le contrôle du processus. Chaque plaquette est immergée dans un bain chauffé et recirculé.
suffisamment longtemps pour pénétrer les résidus de polymère. Après le transfert humide vers la station de pulvérisation, le
est soumise à une pulvérisation à haute pression pour éliminer rapidement les résidus restants. Le résultat est un traitement à 100 %.
des photorésistances et des polymères. Le trempage et la pulvérisation nécessitent 88 % de temps en moins et 77,5 % de produits chimiques en moins par rapport à l'utilisation d'une machine à laver.
les procédés par pulvérisation uniquement.
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