description
ALIGNEUR DE MASQUE SUSS MA6/BA6
Entièrement reconstruit à partir de la base Septembre 2023
- Modèle : MA6 / BA6
- Fabricant : Suss MicroTec Suss MicroTec
- Taille de la plaquette : Actuellement configuré pour des plaquettes de 100 mm de diamètre.
-Comprend un mandrin de 100 mm pour la face arrière de la plaquette et un support pour le masque de proximité.
- Alignement sur la face supérieure (TSA)
- Alignement de la face arrière (BSA)
- Microscope Suss DVM6
- Objectifs :
- Optique UV400 splitfield (pour exposition 365nm et 405nm)
- Bloc d'alimentation CIC 500
- Capable de contacts durs, doux et sous vide avec l'outillage approprié.
- Lamphouse de 350W
- Table d'isolation des vibrations (pour Suss MA6)
- Alimentation du système : 230V, 50/60 Hz
- Manuel d'utilisation de l'aligneur de masques Suss MA6
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