description
Taille des plaquettes/substrats : jusqu'à 6"/150 de diamètre
Etage X, Y, Theta
Planéité sur 6" : <10 µm
Résolution : 5 µm
Amplitude de mouvement : 155 x 155 mm
Course de charge axe Y : 90 mm
Plage de réglage de la hauteur Z : 10 mm
Course de contact/séparation en Z : 3 mm
Course en thêta (standard) : 360°
Course en thêta, fine (en option) : ±10°
Mandrin
Planéité : 3 µm
Rigidité verticale 6" : <15 µm/10 N
Plaque de tête de sonde
Type de fixation : Vide, magnétique, HF
Plage de déplacement : 40 mm
Course de contact/séparation : 0,2 mm
Répétabilité : 1 µm
Utilités
Vide : -0,8 bar
Air comprimé : 4 bar
Dimensions et poids
Largeur x profondeur x hauteur : 490 x 490 x 480 mm
Poids : 60 kg
Veuillez noter que cette description a pu être traduite automatiquement, merci de nous contacter si vous avez besoin d'informations complémentaires. Les informations de cette annonce ne sont données qu'à titre indicatif. Nous recommandons de les vérifier avec le vendeur avant tout achat