description
Mandrin à vide 6
Paire de micropositionneurs PH500 avec base à vide
Table d'isolation des vibrations Kinetic (en option) : 1 600 $ supplémentaires.
Caméra couleur Infinity 2-3 3.3mp en option avec moniteur, PC et logiciel
Stéréozoom Mitutoyo FS60 avec objectifs APO 10x/20x
Éclairage à fibre optique MOTIC
Collecteur à vide
Le SUSS PM5 est une station de palpage pour les mesures électriques (DC et HF) sur les wafers, les puces et les substrats jusqu'à 150 mm.
Il est équipé de deux têtes de mesure SUSS ProbeHead placées sur le plateau stable, avec de l'espace pour des sondes supplémentaires si nécessaire.
La hauteur du plateau peut être réglée jusqu'à 40 mm, ce qui permet une configuration rapide et facile du système.
La séparation de contact supplémentaire de 200 μm assure un réglage fin et précis de la platine de la sonde.
Les 2 têtes de sonde (mouvements X, Y, Z) sont reliées à la platine par le vide.
Un pont métallique, qui s'étend sur la largeur du système de sonde et qui est fixé à la base, soutient le microscope.
Le microscope est équipé d'objectifs 10x, 20x et 50x à très longue distance de travail et d'un oculaire 10x.
La platine se verrouille en place et permet un réglage fin supplémentaire dans la direction Z. Une platine extractible permet une ergothérapie rapide.
Une platine extractible permet un chargement et un déchargement rapides et ergonomiques de l'objet à tester.
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