Spécifications

-------------------
Dimensions (L x l x h) 740,0 × 624,0 × 701,0
Heures de travail
Heures sous tension
État bon
Aux normes locales ---------
Statut

description

Modèle : 600 SemiAuto
- Système de plasma RF semi-automatique
- Peut traiter des plaquettes jusqu'à 200 mm
- Utilisé pour le décapage des photorésistances et le nettoyage des surfaces, ainsi que pour la gravure du silicium et de ses composés.
- Taille de la chambre : 245 mm de diamètre, 380 mm de profondeur
- Matériau de la chambre : céramique
- Générateur RF ENI : 0-600 Watt, 13,56 MHz
- Gaz : 4 canaux contrôlés par 4 MFC
- Pompe à vide Leybold D65B
- Dimensions : 740 mm x 624 mm x 701 mm 740mm x 624mm x 701mm + connexions
- Alimentation électrique : 230V, 50/60Hz, 15A, 2kW
- 1731 heures

Veuillez noter que cette description a pu être traduite automatiquement, merci de nous contacter si vous avez besoin d'informations complémentaires. Les informations de cette annonce ne sont données qu'à titre indicatif. Nous recommandons de les vérifier avec le vendeur avant tout achat


Type de client Revendeur
Actif depuis 2019
Offres en ligne 73
Dernière activité 19 décembre 2024

Description

Modèle : 600 SemiAuto
- Système de plasma RF semi-automatique
- Peut traiter des plaquettes jusqu'à 200 mm
- Utilisé pour le décapage des photorésistances et le nettoyage des surfaces, ainsi que pour la gravure du silicium et de ses composés.
- Taille de la chambre : 245 mm de diamètre, 380 mm de profondeur
- Matériau de la chambre : céramique
- Générateur RF ENI : 0-600 Watt, 13,56 MHz
- Gaz : 4 canaux contrôlés par 4 MFC
- Pompe à vide Leybold D65B
- Dimensions : 740 mm x 624 mm x 701 mm 740mm x 624mm x 701mm + connexions
- Alimentation électrique : 230V, 50/60Hz, 15A, 2kW
- 1731 heures

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