description
Station d'inspection/révision de wafers pour wafers nus et à motifs
Inspection de plaquettes de 300 mm dans des chargeurs FOUP ou de plaquettes de 200 mm dans des cassettes ouvertes avec adaptateurs
2 chargeurs FOUP
Microscope Axiotron 300
Robot Equipe avec pré-aligneur PRE-5120
Mandrin pour plaquettes de 300 mm avec platine xy de 300 mm x 300 mm
DIC, fond clair, fond noir
objectifs : Epiplan Neofluar 2.5 HD, Epiplan Neofluar 10,20,50 HD DIC, Epiplan Apochromat 100 HD DIC
source lumineuse au xénon avec câble en fibre optique
Système d'exploitation Windows NT avec logiciel SmartVIEW ver.4.13 pour l'inspection visuelle et la classification des défauts,
la cartographie de la tranche de silicium, la gestion des fichiers, la manipulation et le traitement des images.
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