Opis
Veličina oblatne 300 mm
Procesni PE-ALD sustav
Verzija softvera Eagle I ASMJ softver (Windows ugrađen XP / OS)
Pogledajte konfiguracijsku datoteku u nastavku za preuzimanje zajedno s drugim dokumentima.
Kompletan set shema dostupan na zahtjev.
Proces PE-ALD oksid, HT-SiO/HT-SiN
Konfiguracija hardvera (fab):
Glavni sustav ASM PE-ALD System Mainframe 1
Sustav rukovanja FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Tvorničko sučelje FOUP 2
Sustav opcija
Ostalo Procesna komora (RC3 / RC4) 2
Konfiguracija hardvera (podfab/pomoćne jedinice):
Stalak za napajanje 1
Status alata: Deinstaliran i spakovan i na pohrani. (ožujak 2023.)
ASM Eagle je kao nov. Nikada nije korišten u proizvodnji i korišten je samo za testiranje pločica. Jedna je komora imala problem s prigušnim ventilom i problem s RF Gen. RF Gen je zamijenjen, ali nisu zamijenili prigušni ventil pa je samo jedna komora korištena za testiranje pločica. Ploča za tekući plin nije korištena. Uključena su 2 rezervna MFC-a.
Ovaj napredni stroj koristi tehnologiju taloženja atomskog sloja poboljšanog plazmom (PEALD) za stvaranje ultratankih, jednolikih premaza na različitim materijalima supstrata. Sposoban je proizvesti premaze s iznimnom ujednačenošću i obnovljivošću, što ga čini idealnim za širok raspon primjena u industriji poluvodiča.
ASM Eagle XP5 je svestran alat koji se može koristiti za taloženje širokog spektra materijala, uključujući metale, okside i druge spojeve. Također je sposoban raditi na nizu procesnih tlakova i temperatura, što ga čini prikladnim za upotrebu u različitim proizvodnim okruženjima.
Osim svojih impresivnih mogućnosti premazivanja, ASM Eagle XP5 također je napravljen imajući na umu izdržljivost i lakoću održavanja. Ima robustan dizajn i podupire ga reputacija ASM-a za proizvodnju visokokvalitetne i pouzdane opreme.
Imajte na umu da je ovaj opis možda automatski preveden. Kontaktirajte nas za daljnje informacije. Podaci u ovom malom oglasu su okvirni. Exapro preporuča da prije kupnje provjerite detalje kod prodavatelja