Tehnički podaci

-------------------
Odrađeni sati
Sati pod strujom
Država dobro
Prema lokalnim normama ---------
Status

Opis

Veličina oblatne 300 mm
Procesni PE-ALD sustav
Verzija softvera Eagle I ASMJ softver (Windows ugrađen XP / OS)
Pogledajte konfiguracijsku datoteku u nastavku za preuzimanje zajedno s drugim dokumentima.
Kompletan set shema dostupan na zahtjev.
Proces PE-ALD oksid, HT-SiO/HT-SiN
Konfiguracija hardvera (fab):
Glavni sustav ASM PE-ALD System Mainframe 1
Sustav rukovanja FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Tvorničko sučelje FOUP 2
Sustav opcija
Ostalo Procesna komora (RC3 / RC4) 2
Konfiguracija hardvera (podfab/pomoćne jedinice):
Stalak za napajanje 1
Status alata: Deinstaliran i spakovan i na pohrani. (ožujak 2023.)

ASM Eagle je kao nov. Nikada nije korišten u proizvodnji i korišten je samo za testiranje pločica. Jedna je komora imala problem s prigušnim ventilom i problem s RF Gen. RF Gen je zamijenjen, ali nisu zamijenili prigušni ventil pa je samo jedna komora korištena za testiranje pločica. Ploča za tekući plin nije korištena. Uključena su 2 rezervna MFC-a.

Ovaj napredni stroj koristi tehnologiju taloženja atomskog sloja poboljšanog plazmom (PEALD) za stvaranje ultratankih, jednolikih premaza na različitim materijalima supstrata. Sposoban je proizvesti premaze s iznimnom ujednačenošću i obnovljivošću, što ga čini idealnim za širok raspon primjena u industriji poluvodiča.
ASM Eagle XP5 je svestran alat koji se može koristiti za taloženje širokog spektra materijala, uključujući metale, okside i druge spojeve. Također je sposoban raditi na nizu procesnih tlakova i temperatura, što ga čini prikladnim za upotrebu u različitim proizvodnim okruženjima.
Osim svojih impresivnih mogućnosti premazivanja, ASM Eagle XP5 također je napravljen imajući na umu izdržljivost i lakoću održavanja. Ima robustan dizajn i podupire ga reputacija ASM-a za proizvodnju visokokvalitetne i pouzdane opreme.

Imajte na umu da je ovaj opis možda automatski preveden. Kontaktirajte nas za daljnje informacije. Podaci u ovom malom oglasu su okvirni. Exapro preporuča da prije kupnje provjerite detalje kod prodavatelja


Tip klijenta Trgovac
Aktivan od 2010
Ponude online 39
Zadnja aktivnost 15. listopada 2024.

Opis

Veličina oblatne 300 mm
Procesni PE-ALD sustav
Verzija softvera Eagle I ASMJ softver (Windows ugrađen XP / OS)
Pogledajte konfiguracijsku datoteku u nastavku za preuzimanje zajedno s drugim dokumentima.
Kompletan set shema dostupan na zahtjev.
Proces PE-ALD oksid, HT-SiO/HT-SiN
Konfiguracija hardvera (fab):
Glavni sustav ASM PE-ALD System Mainframe 1
Sustav rukovanja FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Tvorničko sučelje FOUP 2
Sustav opcija
Ostalo Procesna komora (RC3 / RC4) 2
Konfiguracija hardvera (podfab/pomoćne jedinice):
Stalak za napajanje 1
Status alata: Deinstaliran i spakovan i na pohrani. (ožujak 2023.)

ASM Eagle je kao nov. Nikada nije korišten u proizvodnji i korišten je samo za testiranje pločica. Jedna je komora imala problem s prigušnim ventilom i problem s RF Gen. RF Gen je zamijenjen, ali nisu zamijenili prigušni ventil pa je samo jedna komora korištena za testiranje pločica. Ploča za tekući plin nije korištena. Uključena su 2 rezervna MFC-a.

Ovaj napredni stroj koristi tehnologiju taloženja atomskog sloja poboljšanog plazmom (PEALD) za stvaranje ultratankih, jednolikih premaza na različitim materijalima supstrata. Sposoban je proizvesti premaze s iznimnom ujednačenošću i obnovljivošću, što ga čini idealnim za širok raspon primjena u industriji poluvodiča.
ASM Eagle XP5 je svestran alat koji se može koristiti za taloženje širokog spektra materijala, uključujući metale, okside i druge spojeve. Također je sposoban raditi na nizu procesnih tlakova i temperatura, što ga čini prikladnim za upotrebu u različitim proizvodnim okruženjima.
Osim svojih impresivnih mogućnosti premazivanja, ASM Eagle XP5 također je napravljen imajući na umu izdržljivost i lakoću održavanja. Ima robustan dizajn i podupire ga reputacija ASM-a za proizvodnju visokokvalitetne i pouzdane opreme.

Imajte na umu da je ovaj opis možda automatski preveden. Kontaktirajte nas za daljnje informacije. Podaci u ovom malom oglasu su okvirni. Exapro preporuča da prije kupnje provjerite detalje kod prodavatelja


Tehnički podaci

-------------------
Odrađeni sati
Sati pod strujom
Država dobro
Prema lokalnim normama ---------
Status

O ovom prodavaču

Tip klijenta Trgovac
Aktivan od 2010
Ponude online 39
Zadnja aktivnost 15. listopada 2024.

Ovdje je izbor sličnih strojeva

Stroj za oblatne ASM Eagle XP5 PEALD