Opis
iXH6045H Suha vakuumska pumpa
Pregled proizvoda
Serija suhih pumpi iXH posebno je dizajnirana za zahtjevne procese u proizvodnji poluvodiča, ravnih zaslona i solarnih aplikacija. Nudi smanjene troškove vlasništva uz 10% manju potrošnju energije u usporedbi s prethodnim modelima. Crpka ima poboljšano rukovanje prahom s tehnologijom Gas Buster™, širok raspon radnih temperatura za smanjenje nakupljanja nusproizvoda i poboljšanu tehnologiju brtvljenja za produljenje vijeka trajanja pumpe i smanjenje rizika od curenja.
Tehnički podaci
Model: ACHD02123300XS
Napon: 380-460V
Visoki napon: 6000V
Plinski modul: Jednostruki način (44 sL/min protok)
Ispuh: Standardno bez povratnog ventila
Brtve: standardne
Motor pumpe: 11 kW
Pojačivač motora: 7,5 kW
Prijave
High-k i low-k aplikacije
SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN i EPI procesi
CVD, PECVD i MOCVD
Traka/pepeljenje, jetkanje oksidom, jetkanje metala i izvor implantata
Tehničke specifikacije
Dimenzije:
Duljina: 1080 mm
Širina: 517 mm
Visina: 966 mm
Performanse:
Brzina pumpanja: 5000 - 5200 m³/h
Krajnji vakuum: < 5 x 10⁻³ mbar
Maksimalni ulazni tlak: 1000 mbar
Hlađenje:
Protok vode: 12 l/min
Tlak dovoda vode: 6,9 bara (100 psig)
Ključne značajke
Visoke brzine pumpanja vodika idealne za napredne EPI i solarne procese
Kompaktan dizajn s manjim otiskom za laku integraciju u proizvodne pogone
Usklađenost sa standardima UL, CE i S2
Ova je crpka optimizirana za zahtjevna okruženja gdje su poboljšana procesna sposobnost, energetska učinkovitost i kompaktan dizajn ključni. Za daljnje pojedinosti i upute za rad pogledajte potpuni priručnik za proizvod.
Imajte na umu da je ovaj opis možda automatski preveden. Kontaktirajte nas za daljnje informacije. Podaci u ovom malom oglasu su okvirni. Exapro preporuča da prije kupnje provjerite detalje kod prodavatelja