Opis
Gasonics/IPC 9104 Ash/Etch sustav
12"(dia) x 20"(D) kvarcna bačva
ventil za meko pumpanje i pročišćavanje
dizajn s malom količinom čestica
2ea ulaza masenog protoka plina s VCR priključcima
sve SS vodovodne instalacije,
višekanalno/jednopločno upravljanje računalom, s disketnom pohranom
monitor temperature
ENI OEM 12B 1250W RF generator
Veličina vafla: 4", 6", 8" mogućnost
Kapacitet: 50 8" vafla, 50-75 6" vafla, 100 4" vafla.Â
Komora: Kvarc, kompatibilan s fluoriranom kemijom. 12" promjer x 20" dubina. Vanjske RF elektrode.
RF generator: 1250 W 13,56 MHz zračno hlađen s mrežom za automatsko usklađivanje impedancije. Vodeno hlađenje po izboru.
Procesni tlak: Pribl. 120 - 2000 mtorr.
Vodovodne instalacije od nehrđajućeg čelika.
Monitor temperature: Termoelement obložen kvarcom smješten u procesnoj komori.
Zaslon: 12,1" zaslon u boji osjetljiv na dodir za kontrolu i praćenje parametara procesa, automatskih recepata ili ručnih plazma tretmana.
Četiri plina određena korisnikom, s 500 sccm MFC od nehrđajućeg čelika standardno dolaze s opcijskim 3. i/ili 4. kanalom za plin.
Zahtjevi za napajanje: 208 - 240 volti, 3 faze, 50/60 Hz 5 žica "zvjezdica".
NEMA-12 kućište za zidnu montažu s ručkom za zaključavanje sadrži kontrolu napajanja izmjeničnom strujom za pepeljaru, napajanje i pumpu, što omogućuje ispuštanje jednog izvora za cijeli sustav.
CE certifikat.
Imajte na umu da je ovaj opis možda automatski preveden. Kontaktirajte nas za daljnje informacije. Podaci u ovom malom oglasu su okvirni. Exapro preporuča da prije kupnje provjerite detalje kod prodavatelja