Tehnički podaci

Veličina oblatne 20.32 cm
-------------------
Odrađeni sati
Sati pod strujom
Država dobro
Prema lokalnim normama Da
Status

Opis

Gasonics/IPC 9104 Ash/Etch sustav
12"(dia) x 20"(D) kvarcna bačva
ventil za meko pumpanje i pročišćavanje
dizajn s malom količinom čestica
2ea ulaza masenog protoka plina s VCR priključcima
sve SS vodovodne instalacije,
višekanalno/jednopločno upravljanje računalom, s disketnom pohranom
monitor temperature

ENI OEM 12B 1250W RF generator

Veličina vafla: 4", 6", 8" mogućnost

Kapacitet: 50 8" vafla, 50-75 6" vafla, 100 4" vafla.Â

Komora: Kvarc, kompatibilan s fluoriranom kemijom. 12" promjer x 20" dubina. Vanjske RF elektrode.

RF generator: 1250 W 13,56 MHz zračno hlađen s mrežom za automatsko usklađivanje impedancije. Vodeno hlađenje po izboru.

Procesni tlak: Pribl. 120 - 2000 mtorr.

Vodovodne instalacije od nehrđajućeg čelika.

Monitor temperature: Termoelement obložen kvarcom smješten u procesnoj komori.

Zaslon: 12,1" zaslon u boji osjetljiv na dodir za kontrolu i praćenje parametara procesa, automatskih recepata ili ručnih plazma tretmana.

Četiri plina određena korisnikom, s 500 sccm MFC od nehrđajućeg čelika standardno dolaze s opcijskim 3. i/ili 4. kanalom za plin.

Zahtjevi za napajanje: 208 - 240 volti, 3 faze, 50/60 Hz 5 žica "zvjezdica".

NEMA-12 kućište za zidnu montažu s ručkom za zaključavanje sadrži kontrolu napajanja izmjeničnom strujom za pepeljaru, napajanje i pumpu, što omogućuje ispuštanje jednog izvora za cijeli sustav.

CE certifikat.

Imajte na umu da je ovaj opis možda automatski preveden. Kontaktirajte nas za daljnje informacije. Podaci u ovom malom oglasu su okvirni. Exapro preporuča da prije kupnje provjerite detalje kod prodavatelja


Tip klijenta Trgovac
Aktivan od 2019
Ponude online 73
Zadnja aktivnost 19. prosinca 2024.

Opis

Gasonics/IPC 9104 Ash/Etch sustav
12"(dia) x 20"(D) kvarcna bačva
ventil za meko pumpanje i pročišćavanje
dizajn s malom količinom čestica
2ea ulaza masenog protoka plina s VCR priključcima
sve SS vodovodne instalacije,
višekanalno/jednopločno upravljanje računalom, s disketnom pohranom
monitor temperature

ENI OEM 12B 1250W RF generator

Veličina vafla: 4", 6", 8" mogućnost

Kapacitet: 50 8" vafla, 50-75 6" vafla, 100 4" vafla.Â

Komora: Kvarc, kompatibilan s fluoriranom kemijom. 12" promjer x 20" dubina. Vanjske RF elektrode.

RF generator: 1250 W 13,56 MHz zračno hlađen s mrežom za automatsko usklađivanje impedancije. Vodeno hlađenje po izboru.

Procesni tlak: Pribl. 120 - 2000 mtorr.

Vodovodne instalacije od nehrđajućeg čelika.

Monitor temperature: Termoelement obložen kvarcom smješten u procesnoj komori.

Zaslon: 12,1" zaslon u boji osjetljiv na dodir za kontrolu i praćenje parametara procesa, automatskih recepata ili ručnih plazma tretmana.

Četiri plina određena korisnikom, s 500 sccm MFC od nehrđajućeg čelika standardno dolaze s opcijskim 3. i/ili 4. kanalom za plin.

Zahtjevi za napajanje: 208 - 240 volti, 3 faze, 50/60 Hz 5 žica "zvjezdica".

NEMA-12 kućište za zidnu montažu s ručkom za zaključavanje sadrži kontrolu napajanja izmjeničnom strujom za pepeljaru, napajanje i pumpu, što omogućuje ispuštanje jednog izvora za cijeli sustav.

CE certifikat.

Imajte na umu da je ovaj opis možda automatski preveden. Kontaktirajte nas za daljnje informacije. Podaci u ovom malom oglasu su okvirni. Exapro preporuča da prije kupnje provjerite detalje kod prodavatelja


Tehnički podaci

Veličina oblatne 20.32 cm
-------------------
Odrađeni sati
Sati pod strujom
Država dobro
Prema lokalnim normama Da
Status

O ovom prodavaču

Tip klijenta Trgovac
Aktivan od 2019
Ponude online 73
Zadnja aktivnost 19. prosinca 2024.

Ovdje je izbor sličnih strojeva

Gasonics 9104 plazma čistač