Tehnički podaci

-------------------
Odrađeni sati
Sati pod strujom
Država izvrsno
Prema lokalnim normama ---------
Status u proizvodnji

Opis

Sustav Nano PLD-1000 je potpuno integrirani instrument laserskog taloženja za višeslojne filmove na podlogama promjera do 2 inča. Koristi tri izvora energije: PhysikCOMPex PRO 110 Coherent Lambda laser, magnetronski izvor raspršenja i Veeco 3 cm ionski izvor.

Ključne komponente i specifikacije:
Laserski sustav: PhysikCOMPex PRO 110 Lambda excimer laser (248-nm, KrF) s tehnologijom keramičke cijevi, brzinom ponavljanja do 100 Hz i 20 MWatta/pulsu.
Magnetron Izvor: PVD Products Titan magnetron s promjerom mete od 5 cm, radi u DC (400 W max) ili RF (300 W max) načinima rada pri pritiscima od 0,5 mTorr do 1 Torr.
Ionski izvor: Veeco 3 cm ionski izvor s rešetkama za fokus, neutralizatorom, energijom snopa od 50-1200 eV i maksimalnom strujom od 100 mA.
Vakuumski sustav:
Vakuumska komora s prirubnicama za pribor (npr. spektroskopija, ionski top). Uključuje Pfeiffer vodeno hlađenu vakuumsku sondu, turbo pumpu (250 l/s, 60 000 okr/min) i rotacionu pumpu.
Mjerači vakuuma: InstruTech Convectron (atmosferski do 10^-3 Torr) i Hornet Bayard-Alpert (do 10^-9 Torr).
MKS digitalni mjerač protoka (50 sccm) kalibriran za kisik s ručnim isključivanjem.
Optičke i manipulativne značajke:
Fiksni optički put s valnom duljinom od 248 nm, HR zrcalima od 2 inča i kutom upada lasera od 60° za smanjenu kontaminaciju.
Manipulator cilja s tri položaja (3” ili 6 x 2”, maksimalne debljine 6 mm) s računalnim odabirom i do 50 okretaja u minuti.
Rukovanje podlogom:
Grijač supstrata (6000°C max) s vodeno hlađenim premazom. Udaljenost meta-podloga: 75 mm.
Programabilna vratašca za promjene uzoraka s motoriziranim nosačem Z-osi (hod od 2") i turbo pumpom (70 l/s, 90.000 RPM). Osnovni tlak: < 5 x 10^-8 Torr.
Dodatne značajke:
Nano PLD IW inteligentni prozorski sustav s diskom od kvarcnog stakla i razdjelnikom snopa za povećanu čistoću optičkog puta.
Optički pirometar (spektralni raspon 0,78–1,06 μm) za praćenje temperature podloge (500–2000°C).
Mjerači masenog protoka, hladnjak vode, zračni kompresor i rotacijski sklop supstrata (do 40 okretaja u minuti) za ravnomjerno taloženje filma.

Imajte na umu da je ovaj opis možda automatski preveden. Kontaktirajte nas za daljnje informacije. Podaci u ovom malom oglasu su okvirni. Exapro preporuča da prije kupnje provjerite detalje kod prodavatelja


pvd-products-usa-nano-pld-1000-p241126370_3.pdf preuzimanje datoteka
Tip klijenta Korisnik - SME
Aktivan od 2024
Ponude online 2
Zadnja aktivnost 26. studenoga 2024.

Opis

Sustav Nano PLD-1000 je potpuno integrirani instrument laserskog taloženja za višeslojne filmove na podlogama promjera do 2 inča. Koristi tri izvora energije: PhysikCOMPex PRO 110 Coherent Lambda laser, magnetronski izvor raspršenja i Veeco 3 cm ionski izvor.

Ključne komponente i specifikacije:
Laserski sustav: PhysikCOMPex PRO 110 Lambda excimer laser (248-nm, KrF) s tehnologijom keramičke cijevi, brzinom ponavljanja do 100 Hz i 20 MWatta/pulsu.
Magnetron Izvor: PVD Products Titan magnetron s promjerom mete od 5 cm, radi u DC (400 W max) ili RF (300 W max) načinima rada pri pritiscima od 0,5 mTorr do 1 Torr.
Ionski izvor: Veeco 3 cm ionski izvor s rešetkama za fokus, neutralizatorom, energijom snopa od 50-1200 eV i maksimalnom strujom od 100 mA.
Vakuumski sustav:
Vakuumska komora s prirubnicama za pribor (npr. spektroskopija, ionski top). Uključuje Pfeiffer vodeno hlađenu vakuumsku sondu, turbo pumpu (250 l/s, 60 000 okr/min) i rotacionu pumpu.
Mjerači vakuuma: InstruTech Convectron (atmosferski do 10^-3 Torr) i Hornet Bayard-Alpert (do 10^-9 Torr).
MKS digitalni mjerač protoka (50 sccm) kalibriran za kisik s ručnim isključivanjem.
Optičke i manipulativne značajke:
Fiksni optički put s valnom duljinom od 248 nm, HR zrcalima od 2 inča i kutom upada lasera od 60° za smanjenu kontaminaciju.
Manipulator cilja s tri položaja (3” ili 6 x 2”, maksimalne debljine 6 mm) s računalnim odabirom i do 50 okretaja u minuti.
Rukovanje podlogom:
Grijač supstrata (6000°C max) s vodeno hlađenim premazom. Udaljenost meta-podloga: 75 mm.
Programabilna vratašca za promjene uzoraka s motoriziranim nosačem Z-osi (hod od 2") i turbo pumpom (70 l/s, 90.000 RPM). Osnovni tlak: < 5 x 10^-8 Torr.
Dodatne značajke:
Nano PLD IW inteligentni prozorski sustav s diskom od kvarcnog stakla i razdjelnikom snopa za povećanu čistoću optičkog puta.
Optički pirometar (spektralni raspon 0,78–1,06 μm) za praćenje temperature podloge (500–2000°C).
Mjerači masenog protoka, hladnjak vode, zračni kompresor i rotacijski sklop supstrata (do 40 okretaja u minuti) za ravnomjerno taloženje filma.

Imajte na umu da je ovaj opis možda automatski preveden. Kontaktirajte nas za daljnje informacije. Podaci u ovom malom oglasu su okvirni. Exapro preporuča da prije kupnje provjerite detalje kod prodavatelja


Tehnički podaci

-------------------
Odrađeni sati
Sati pod strujom
Država izvrsno
Prema lokalnim normama ---------
Status u proizvodnji

O ovom prodavaču

Tip klijenta Korisnik - SME
Aktivan od 2024
Ponude online 2
Zadnja aktivnost 26. studenoga 2024.

Ovdje je izbor sličnih strojeva

Poluvodički stroj PVD Products, USA NANO PLD 1000