Opis
SSEC CLEAN 3300
MODEL: M3302
208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP
Datum proizvodnje 30.8.05
AC Dwg br. 330i1712
1) oblatna je natopljena mješavinom otapala (tzv. čišćenje potapanjem)
2) postoji obrada otapalima u spreju (tzv. Fan Spray Processing) i faza sušenja dušikom.
Uređaj ima tzv. dry-in/dry-out sustav (suhe napolitanke unutra/suhe napolitanke van).
Čišćenje TSV nakon DRIE jetkanja ključno je za pouzdanost 2.5D i 3D IC uređaja. SSEC-ovo vlasništvo
tehnologija namakanja i raspršivanja smanjuje vrijeme raspršivanja i upotrebu kemije za niže troškove vlasništva od
konvencionalni pristupi s mokrim stolom ili jednim prskanjem; postigao je 100% fotootpornost i bočnu stijenku
uklanjanje fluorpolimera 5x brže nego samo sprej.
Alat ima softver za ravnomjerno namakanje za kontrolu procesa. Svaka oblatna se namače u zagrijanoj, recirkulirajućoj
otapalo dovoljno dugo da prodre u polimerni ostatak. Nakon mokrog prijenosa do stanice za prskanje,
vafel se podvrgava raspršivanju pod visokim pritiskom kako bi se brzo uklonio preostali ostatak. rezultat je 100%
uklanjanje fotorezista i polimera. Natapanje i prskanje zahtijeva 88% manje vremena i 77,5% manje kemije nego
postupci samo raspršivanjem.
Imajte na umu da je ovaj opis možda automatski preveden. Kontaktirajte nas za daljnje informacije. Podaci u ovom malom oglasu su okvirni. Exapro preporuča da prije kupnje provjerite detalje kod prodavatelja