Leírás
iXH6045H száraz vákuumszivattyú
Termék áttekintés
Az iXH száraz szivattyú sorozatot kifejezetten a félvezetőgyártás, a síkképernyős kijelzők és a napelemes alkalmazások igényes folyamataihoz tervezték. A korábbi modellekhez képest 10%-kal kisebb energiafogyasztással alacsonyabb üzemeltetési költséget kínál. A szivattyú a Gas Buster™ technológiával továbbfejlesztett porkezeléssel, a melléktermék-felhalmozódás minimalizálása érdekében széles üzemi hőmérséklettartományban, valamint a szivattyú élettartamának meghosszabbítása és a szivárgás kockázatának csökkentése érdekében továbbfejlesztett tömítési technológiával rendelkezik.
Műszaki adatok
Modell: ACHD02123300XS
Feszültség: 380-460V
Nagyfeszültség: 6000V
Gázmodul: (44 sL/min áramlás)
Kipufogó: Visszacsapószelep nélkül
Tömítések: Standard
Szivattyúmotor: Motor: 11 kW
Booster motor: Motor: 7,5 kW
Alkalmazások
Magas és alacsony k értékű alkalmazások
SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN és EPI folyamatok
CVD, PECVD és MOCVD
Szalag/hamuzás, oxidmaratás, fémmaratás és implantátumforrás
Műszaki specifikációk
Méretek:
Hosszúság: 1080 mm
Szélesség: 517 mm
Magasság: 966 mm
Teljesítmény:
Szivattyúzási sebesség: 5000 - 5200 m³/h
Végső vákuum: < 5 x 10-³ mbar
Maximális bemeneti nyomás: 1000 mbar
Hűtés:
Víz áramlási sebesség: Vízmennyiség: 12 l/min
Vízellátási nyomás: 6,9 bar (100 psig)
Főbb jellemzők
Nagy hidrogénszivattyúzási sebesség, ideális a fejlett EPI- és napenergia-folyamatokhoz
Kompakt kialakítás, kisebb helyigény a gyártási létesítményekbe való könnyű integráláshoz
Megfelel az UL, CE és S2 szabványoknak
Ezt a szivattyút olyan igényes környezetekre optimalizálták, ahol a fokozott technológiai képesség, az energiahatékonyság és a kompakt kialakítás kulcsfontosságú. További részletekért és üzemeltetési útmutatóért kérjük, olvassa el a teljes termékkézikönyvet.
Kérjük, vegye figyelembe, hogy ezt a leírást automatikusan lefordították. További információért forduljon hozzánk. A hirdetésben szereplő információk tájékoztató jellegűek. Az Exapro azt javasolja, hogy vásárlás előtt ellenőrizze a részleteket az eladóval