Műszaki adatok

-------------------
Ledolgozott órák
Óra áram alatt
Állapot ahogy van, ahol van
Helyi normák szerint ---------
Állapot

Leírás

iXH6045H száraz vákuumszivattyú
Termék áttekintés
Az iXH száraz szivattyú sorozatot kifejezetten a félvezetőgyártás, a síkképernyős kijelzők és a napelemes alkalmazások igényes folyamataihoz tervezték. A korábbi modellekhez képest 10%-kal kisebb energiafogyasztással alacsonyabb üzemeltetési költséget kínál. A szivattyú a Gas Buster™ technológiával továbbfejlesztett porkezeléssel, a melléktermék-felhalmozódás minimalizálása érdekében széles üzemi hőmérséklettartományban, valamint a szivattyú élettartamának meghosszabbítása és a szivárgás kockázatának csökkentése érdekében továbbfejlesztett tömítési technológiával rendelkezik.

Műszaki adatok
Modell: ACHD02123300XS
Feszültség: 380-460V
Nagyfeszültség: 6000V
Gázmodul: (44 sL/min áramlás)
Kipufogó: Visszacsapószelep nélkül
Tömítések: Standard
Szivattyúmotor: Motor: 11 kW
Booster motor: Motor: 7,5 kW
Alkalmazások
Magas és alacsony k értékű alkalmazások
SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN és EPI folyamatok
CVD, PECVD és MOCVD
Szalag/hamuzás, oxidmaratás, fémmaratás és implantátumforrás
Műszaki specifikációk
Méretek:
Hosszúság: 1080 mm
Szélesség: 517 mm
Magasság: 966 mm
Teljesítmény:
Szivattyúzási sebesség: 5000 - 5200 m³/h
Végső vákuum: < 5 x 10-³ mbar
Maximális bemeneti nyomás: 1000 mbar
Hűtés:
Víz áramlási sebesség: Vízmennyiség: 12 l/min
Vízellátási nyomás: 6,9 bar (100 psig)
Főbb jellemzők
Nagy hidrogénszivattyúzási sebesség, ideális a fejlett EPI- és napenergia-folyamatokhoz
Kompakt kialakítás, kisebb helyigény a gyártási létesítményekbe való könnyű integráláshoz
Megfelel az UL, CE és S2 szabványoknak
Ezt a szivattyút olyan igényes környezetekre optimalizálták, ahol a fokozott technológiai képesség, az energiahatékonyság és a kompakt kialakítás kulcsfontosságú. További részletekért és üzemeltetési útmutatóért kérjük, olvassa el a teljes termékkézikönyvet.

Kérjük, vegye figyelembe, hogy ezt a leírást automatikusan lefordították. További információért forduljon hozzánk. A hirdetésben szereplő információk tájékoztató jellegűek. Az Exapro azt javasolja, hogy vásárlás előtt ellenőrizze a részleteket az eladóval


Ügyfél típusa Kereskedő
Óta aktív 2024
Ajánlatok online 23
Utolsó bejelentkezés, utolsó használat 2025. január 1.

Leírás

iXH6045H száraz vákuumszivattyú
Termék áttekintés
Az iXH száraz szivattyú sorozatot kifejezetten a félvezetőgyártás, a síkképernyős kijelzők és a napelemes alkalmazások igényes folyamataihoz tervezték. A korábbi modellekhez képest 10%-kal kisebb energiafogyasztással alacsonyabb üzemeltetési költséget kínál. A szivattyú a Gas Buster™ technológiával továbbfejlesztett porkezeléssel, a melléktermék-felhalmozódás minimalizálása érdekében széles üzemi hőmérséklettartományban, valamint a szivattyú élettartamának meghosszabbítása és a szivárgás kockázatának csökkentése érdekében továbbfejlesztett tömítési technológiával rendelkezik.

Műszaki adatok
Modell: ACHD02123300XS
Feszültség: 380-460V
Nagyfeszültség: 6000V
Gázmodul: (44 sL/min áramlás)
Kipufogó: Visszacsapószelep nélkül
Tömítések: Standard
Szivattyúmotor: Motor: 11 kW
Booster motor: Motor: 7,5 kW
Alkalmazások
Magas és alacsony k értékű alkalmazások
SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN és EPI folyamatok
CVD, PECVD és MOCVD
Szalag/hamuzás, oxidmaratás, fémmaratás és implantátumforrás
Műszaki specifikációk
Méretek:
Hosszúság: 1080 mm
Szélesség: 517 mm
Magasság: 966 mm
Teljesítmény:
Szivattyúzási sebesség: 5000 - 5200 m³/h
Végső vákuum: < 5 x 10-³ mbar
Maximális bemeneti nyomás: 1000 mbar
Hűtés:
Víz áramlási sebesség: Vízmennyiség: 12 l/min
Vízellátási nyomás: 6,9 bar (100 psig)
Főbb jellemzők
Nagy hidrogénszivattyúzási sebesség, ideális a fejlett EPI- és napenergia-folyamatokhoz
Kompakt kialakítás, kisebb helyigény a gyártási létesítményekbe való könnyű integráláshoz
Megfelel az UL, CE és S2 szabványoknak
Ezt a szivattyút olyan igényes környezetekre optimalizálták, ahol a fokozott technológiai képesség, az energiahatékonyság és a kompakt kialakítás kulcsfontosságú. További részletekért és üzemeltetési útmutatóért kérjük, olvassa el a teljes termékkézikönyvet.

Kérjük, vegye figyelembe, hogy ezt a leírást automatikusan lefordították. További információért forduljon hozzánk. A hirdetésben szereplő információk tájékoztató jellegűek. Az Exapro azt javasolja, hogy vásárlás előtt ellenőrizze a részleteket az eladóval


Műszaki adatok

-------------------
Ledolgozott órák
Óra áram alatt
Állapot ahogy van, ahol van
Helyi normák szerint ---------
Állapot

Erről az eladóról

Ügyfél típusa Kereskedő
Óta aktív 2024
Ajánlatok online 23
Utolsó bejelentkezés, utolsó használat 2025. január 1.

Íme egy válogatás hasonló gépekből

EDWARDS IXH 6045H ipari szivattyú