Leírás
SSEC CLEAN 3300
MODELL: M3302
208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP
Gyártás dátuma: 8/30/05
AC Dwg sz. 330i1712
1) az ostyát oldószer-keverékbe áztatják (ún. merítéses tisztítás).
2) következik a feldolgozás oldószerpermetezéssel ( ún. Fan Spray Processing) és a nitrogénszárítási szakasz.
Az egység úgynevezett dry-in/dry-out rendszerrel rendelkezik (száraz ostyák be/száraz ostyák ki).
A DRIE maratás utáni TSV-tisztítás elengedhetetlen a 2,5D és 3D IC-eszközök megbízhatóságához. Az SSEC saját fejlesztésű
áztató és permetező technológia minimalizálja a permetezési időt és a vegyszerhasználatot, ami alacsonyabb üzemeltetési költséget eredményez, mint a
a hagyományos nedves padon vagy egyetlen permetezéssel történő megközelítéshez képest; 100%-os fotoreziszt és oldalfali
fluoropolimer eltávolítása 5x gyorsabban, mint a csak permetezéssel történő eltávolítás.
A szerszám a folyamatvezérléshez egyenlő idejű áztatószoftverrel rendelkezik. Minden egyes ostyát fűtött, recirkuláló
oldószerben elég hosszú ideig ahhoz, hogy behatoljon a polimer maradványokba. A permetezőállomásra történő nedves átvitelt követően a
az ostyát nagynyomású permetezésnek vetik alá a maradék maradék gyors eltávolítása érdekében. Az eredmény 100%-os
fotoreziszt és polimer eltávolítása. Az áztatás és a permetezés 88%-kal kevesebb időt és 77,5%-kal kevesebb vegyszert igényel, mint a
a csak permetezéses eljárásoknál.
Kérjük, vegye figyelembe, hogy ezt a leírást automatikusan lefordították. További információért forduljon hozzánk. A hirdetésben szereplő információk tájékoztató jellegűek. Az Exapro azt javasolja, hogy vásárlás előtt ellenőrizze a részleteket az eladóval