Leírás
Wafer/alátét mérete: akár 6"/150 átmérőig
X,Y, Theta fokozat
Planaritás 6" felett: <10 µm
Felbontás: Felbontás: 5 µm
Mozgástartomány: 155 x 155 mm
Y tengely terhelő löket: 90 mm
Z magasságbeállítási tartomány: 10 mm
Z érintkezési/elkülönítési löket: 3 mm
Théta-út (standard): 360°
Théta elmozdulás, finom (opcionális): ±10°
Forgácstartó
Planaritás: 3 µm
Függőleges merevség 6": <15 µm/10 N
ProbeHead Platen
Rögzítés típusa: A rögzítés típusa: A rögzítés típusa: A rögzítés típusa: Vákuum, mágneses, HF
Menettartomány: 40 mm
Érintkezési/elkülönítési löket: 0,2 mm
Ismételhetőség: 1 µm
Közművek
Vákuum: -0,8 bar
Sűrített levegő: 4 bar
Méretek és súly
Szélesség x mélység x magasság: 490 x 490 x480mm
Súly: 60 kg
Kérjük, vegye figyelembe, hogy ezt a leírást automatikusan lefordították. További információért forduljon hozzánk. A hirdetésben szereplő információk tájékoztató jellegűek. Az Exapro azt javasolja, hogy vásárlás előtt ellenőrizze a részleteket az eladóval