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Airco Temescal HRS 2550 P240311905
Airco Temescal HRS 2550 P240311905

Sistema di sputtering Airco Temescal Hrs 2550 Venditore verificato

Prezzo su richiesta

Fare un'offerta
Marca Airco
Modello Temescal HRS 2550
Anno
Ubicazione Stati Uniti US
Categoria Circuito stampato (PCB) - Vari
Numero del prodotto P240311905
Lingua
bg Система за разпрашване Airco Temescal Hrs 2550
cs Rozprašovací systém Airco Temescal Hrs 2550
da Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system
de Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-System
el Airco Temescal Hrs 2550 Σύστημα σπατουλαρίσματος
en Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering system
es Sistema de pulverización catódica Airco Temescal Hrs 2550
fr Système de pulvérisation cathodique Airco Temescal Hrs 2550
hr Klima uređaj Temescal Hrs 2550 Sustav prskanja
hu Airco Temescal Hrs 2550 porlasztó rendszer
it Sistema di sputtering Airco Temescal Hrs 2550
lt "Airco Temescal Hrs 2550" dulkinimo sistema
nl Airco Temescal Hrs 2550 Sputtersysteem
pl System rozpylania Airco Temescal Hrs 2550
pt Sistema de pulverização catódica Airco Temescal Hrs 2550
ro Sistem Sputtering Airco Temescal Hrs 2550
ru Система напыления Airco Temescal Hrs 2550
sr Klima uređaj Temescal Hrs 2550 Sistem za prskanje
sv Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system
tr Airco Temescal Hrs 2550 Püskürtme sistemi

Specifiche tecniche

Funzionalità altro
-------------------
Ore effettuate
Ore allacciato alla corrente
Condizione buono
Conforme alle norme CE ---------
Stato

descrizione

Produttore: Airco
SISTEMA DI SPUTTERING AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 TARGHE
VALVOLE AUTO/MANUALI
POMPA MECCANICA AD AZIONAMENTO DIRETTO
POMPA A DIFFUSIONE
PUÒ ESSERE AGGIORNATO CON UN DISPOSITIVO ROTANTE PER CONTENERE (4) WAFER DA 8 POLLICI

L'Airco Temescal HRS 2550 è un sistema di sputtering. Dispone di 3 bersagli, valvole auto/manuali, pompa meccanica ad azionamento diretto e pompa di diffusione. Dispone anche di un alimentatore r/f. Può essere aggiornato con una testa di criopompa CTI-10 ricostruita con compressore.
Dati tecnici
Dimensioni: 16 pollici di altezza x 25,5 pollici di
diametro (406 mm x 647,7 mm)
Montaggio: supporti per substrati montati verticalmente a carosello, capacità flip-flop opzionale
Capacità: (minimo) 64 wafer da 2 pollici (51 mm)
Schermatura: minimo 3 rimbalzi
Calore del substrato: massimo 3 kW
Numero di catodi: massimo tre Valvola manuale a soffietto per l'ingresso dell'argon con capacità di dosaggio

Cubo del vuoto (compreso l'alloggiamento dell'elettronica): 82,5 pollici di altezza (con la console
console superiore) x 64 pollici di larghezza x 40 pollici di profondità (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Alimentazione (comprese le console di controllo):
36 pollici di altezza x 25,5 pollici di larghezza x 25,5 pollici di profondità (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Velocità di deposizione statica tipica: 15,000
A/minuto alluminio, 20.000 A/minuto rame
Distribuzione: � 5% con mascheratura della sorgente
Dimensioni del target: 8,25 pollici x 3,56 pollici (210 mm x 90 mm)
Tensione operativa: potenziale catodico da -400 a -800V dc (tassi di deposizione di picco a
-400 a -500V dc)
Livello massimo di potenza operativa: 5 KW. Da 0,2 a 7A
Pressione di esercizio: da 1 x 10-2 a 1 x 10-3 torr
Acqua di raffreddamento: (0,5 gpm a 20�C) per sorgente

Potenza: 5 kW, regolabile in corrente da 0,2A
a 7A; tensione da 50V dc a 800V dc;
in funzione della pressione
Ciclo di lavoro: 100%
Misurazione: corrente di uscita da 0 a 1A e da 0 a 10A, scala dc.
10A, scala dc; tensione catodo-terra,
da 0 a 1,5 kV c.c.; tensione anodo-terra,
da 0 a 150 V CC
Interblocchi: alimentazione, porte della cabina, acqua, coperchio della camera e pressione della camera.
Servizio richiesto: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 fasi

Vuoto finale: intervallo 10-8 torr
Pompa di diffusione: 5300 litri/secondo, 10 pollici di altezza x 16 pollici di diametro interno
Pompa meccanica: 35 cfm (1000 litri/secondo, doppio stadio)
Trappola a freddo: capacità di 4,5 litri; superficie di 2600 pollici quadrati (1,67 m2)
Valvola per il vuoto spinto: 16 pollici (406 mm) di diametro interno, con tenuta a soffietto
Valvola di bypass per alto vuoto: 3 pollici (75 mm) i.d., conduttanza variabile
Valvola di scarico e valvola di sgrossatura: 51 mm (2 pollici) di diametro interno
Azionamento della valvola: elettropneumatico (tutte le valvole a vuoto)
Sequenza delle valvole: manuale e automatica

Si avvisa che la descrizione puo´ esser stata tradotta automaticamente. Ci contatti per ulteriori informazioni. Le informazioni di questo annuncio classificato sono solo indicative. Consigliamo di verificare i dettagli con il venditore prima dell' acquisto


Tipo di cliente Rivenditore
Attivo dal 2014
Offerte online 46
Ultima attività 19 Dicembre 2024

Descrizione

Produttore: Airco
SISTEMA DI SPUTTERING AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 TARGHE
VALVOLE AUTO/MANUALI
POMPA MECCANICA AD AZIONAMENTO DIRETTO
POMPA A DIFFUSIONE
PUÒ ESSERE AGGIORNATO CON UN DISPOSITIVO ROTANTE PER CONTENERE (4) WAFER DA 8 POLLICI

L'Airco Temescal HRS 2550 è un sistema di sputtering. Dispone di 3 bersagli, valvole auto/manuali, pompa meccanica ad azionamento diretto e pompa di diffusione. Dispone anche di un alimentatore r/f. Può essere aggiornato con una testa di criopompa CTI-10 ricostruita con compressore.
Dati tecnici
Dimensioni: 16 pollici di altezza x 25,5 pollici di
diametro (406 mm x 647,7 mm)
Montaggio: supporti per substrati montati verticalmente a carosello, capacità flip-flop opzionale
Capacità: (minimo) 64 wafer da 2 pollici (51 mm)
Schermatura: minimo 3 rimbalzi
Calore del substrato: massimo 3 kW
Numero di catodi: massimo tre Valvola manuale a soffietto per l'ingresso dell'argon con capacità di dosaggio

Cubo del vuoto (compreso l'alloggiamento dell'elettronica): 82,5 pollici di altezza (con la console
console superiore) x 64 pollici di larghezza x 40 pollici di profondità (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Alimentazione (comprese le console di controllo):
36 pollici di altezza x 25,5 pollici di larghezza x 25,5 pollici di profondità (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Velocità di deposizione statica tipica: 15,000
A/minuto alluminio, 20.000 A/minuto rame
Distribuzione: � 5% con mascheratura della sorgente
Dimensioni del target: 8,25 pollici x 3,56 pollici (210 mm x 90 mm)
Tensione operativa: potenziale catodico da -400 a -800V dc (tassi di deposizione di picco a
-400 a -500V dc)
Livello massimo di potenza operativa: 5 KW. Da 0,2 a 7A
Pressione di esercizio: da 1 x 10-2 a 1 x 10-3 torr
Acqua di raffreddamento: (0,5 gpm a 20�C) per sorgente

Potenza: 5 kW, regolabile in corrente da 0,2A
a 7A; tensione da 50V dc a 800V dc;
in funzione della pressione
Ciclo di lavoro: 100%
Misurazione: corrente di uscita da 0 a 1A e da 0 a 10A, scala dc.
10A, scala dc; tensione catodo-terra,
da 0 a 1,5 kV c.c.; tensione anodo-terra,
da 0 a 150 V CC
Interblocchi: alimentazione, porte della cabina, acqua, coperchio della camera e pressione della camera.
Servizio richiesto: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 fasi

Vuoto finale: intervallo 10-8 torr
Pompa di diffusione: 5300 litri/secondo, 10 pollici di altezza x 16 pollici di diametro interno
Pompa meccanica: 35 cfm (1000 litri/secondo, doppio stadio)
Trappola a freddo: capacità di 4,5 litri; superficie di 2600 pollici quadrati (1,67 m2)
Valvola per il vuoto spinto: 16 pollici (406 mm) di diametro interno, con tenuta a soffietto
Valvola di bypass per alto vuoto: 3 pollici (75 mm) i.d., conduttanza variabile
Valvola di scarico e valvola di sgrossatura: 51 mm (2 pollici) di diametro interno
Azionamento della valvola: elettropneumatico (tutte le valvole a vuoto)
Sequenza delle valvole: manuale e automatica

Si avvisa che la descrizione puo´ esser stata tradotta automaticamente. Ci contatti per ulteriori informazioni. Le informazioni di questo annuncio classificato sono solo indicative. Consigliamo di verificare i dettagli con il venditore prima dell' acquisto

Specifiche tecniche

Funzionalità altro
-------------------
Ore effettuate
Ore allacciato alla corrente
Condizione buono
Conforme alle norme CE ---------
Stato

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Tipo di cliente Rivenditore
Attivo dal 2014
Offerte online 46
Ultima attività 19 Dicembre 2024

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