Gasonics 9104 plasma asher Macchinari usati - Kitmondo

Specifiche tecniche

Dimensione della cialda 20.32 cm
-------------------
Ore effettuate
Ore allacciato alla corrente
Condizione buono
Conforme alle norme CE si
Stato

descrizione

Sistema Gasonics/IPC 9104 Ash/Etch
Barile al quarzo da 12" (diametro) x 20" (profondità)
pompaggio morbido e valvola di spurgo
design a basso contenuto di particolato
2 ingressi gas a flusso di massa con raccordi VCR
Tutte le tubature in acciaio inox,
computer multicanale/singola scheda controllato, con memorizzazione su floppy
monitor di temperatura

Generatore RF ENI OEM 12B 1250W

Dimensione dei wafer: capacità di 4", 6", 8"

Capacità: 50 wafer da 8", 50-75 wafer da 6", 100 wafer da 4".Â

Camera: Quarzo, compatibile con chimica fluorurata. Diametro 12" x profondità 20". Elettrodi RF esterni.

Generatore RF: 1250 watt 13,56 MHz raffreddato ad aria con rete di adattamento automatico dell'impedenza. Raffreddato ad acqua opzionale.

Pressione di processo: Circa 120 - 2000 mtorr.

Impianto idraulico in acciaio inox.

Monitoraggio della temperatura: Termocoppia rivestita al quarzo situata nella camera di processo.

Display: Touch screen a colori da 12,1" per il controllo e il monitoraggio dei parametri di processo, delle ricette automatiche o dei trattamenti manuali al plasma.

Quattro gas specificati dall'utente, con MFC in acciaio inox da 500 sccm di serie, con un terzo e/o quarto canale di gas opzionale.

Requisiti di alimentazione: 208 - 240 volt, 3 fasi, 50/60 Hz, 5 fili "wye".

Un involucro per il montaggio a parete NEMA-12 con maniglia di bloccaggio contiene il controllo dell'alimentazione CA per l'asher, l'alimentatore e la pompa, consentendo un'unica fonte di alimentazione per l'intero sistema.

Certificato CE.

Si avvisa che la descrizione puo´ esser stata tradotta automaticamente. Ci contatti per ulteriori informazioni. Le informazioni di questo annuncio classificato sono solo indicative. Consigliamo di verificare i dettagli con il venditore prima dell' acquisto


Tipo di cliente Rivenditore
Attivo dal 2019
Offerte online 73
Ultima attività 07 Gennaio 2025

Descrizione

Sistema Gasonics/IPC 9104 Ash/Etch
Barile al quarzo da 12" (diametro) x 20" (profondità)
pompaggio morbido e valvola di spurgo
design a basso contenuto di particolato
2 ingressi gas a flusso di massa con raccordi VCR
Tutte le tubature in acciaio inox,
computer multicanale/singola scheda controllato, con memorizzazione su floppy
monitor di temperatura

Generatore RF ENI OEM 12B 1250W

Dimensione dei wafer: capacità di 4", 6", 8"

Capacità: 50 wafer da 8", 50-75 wafer da 6", 100 wafer da 4".Â

Camera: Quarzo, compatibile con chimica fluorurata. Diametro 12" x profondità 20". Elettrodi RF esterni.

Generatore RF: 1250 watt 13,56 MHz raffreddato ad aria con rete di adattamento automatico dell'impedenza. Raffreddato ad acqua opzionale.

Pressione di processo: Circa 120 - 2000 mtorr.

Impianto idraulico in acciaio inox.

Monitoraggio della temperatura: Termocoppia rivestita al quarzo situata nella camera di processo.

Display: Touch screen a colori da 12,1" per il controllo e il monitoraggio dei parametri di processo, delle ricette automatiche o dei trattamenti manuali al plasma.

Quattro gas specificati dall'utente, con MFC in acciaio inox da 500 sccm di serie, con un terzo e/o quarto canale di gas opzionale.

Requisiti di alimentazione: 208 - 240 volt, 3 fasi, 50/60 Hz, 5 fili "wye".

Un involucro per il montaggio a parete NEMA-12 con maniglia di bloccaggio contiene il controllo dell'alimentazione CA per l'asher, l'alimentatore e la pompa, consentendo un'unica fonte di alimentazione per l'intero sistema.

Certificato CE.

Si avvisa che la descrizione puo´ esser stata tradotta automaticamente. Ci contatti per ulteriori informazioni. Le informazioni di questo annuncio classificato sono solo indicative. Consigliamo di verificare i dettagli con il venditore prima dell' acquisto


Specifiche tecniche

Dimensione della cialda 20.32 cm
-------------------
Ore effettuate
Ore allacciato alla corrente
Condizione buono
Conforme alle norme CE si
Stato

In merito a questo venditore

Tipo di cliente Rivenditore
Attivo dal 2019
Offerte online 73
Ultima attività 07 Gennaio 2025

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