descrizione
Controllato da PLC, offre una lettura in tempo reale dei parametri operativi del sistema e un'azione correttiva in caso di interruzione.
Plasma attivo per la pulizia di routine delle superfici dei campioni
Plasma RIE per la pulizia aggressiva di campioni non sensibili all'ESD
Plasma a valle, senza elettroni, per la pulizia di componenti elettronici sensibili.
Il pulitore al plasma Glen R3A può essere utilizzato in una sequenza di plasma singola o doppia
Sorgente di alimentazione al plasma CA PE-1000 di Advanced Energy; 500w@ 40khz
Elettrodi: (2) set di elettrodi da 14 x 14 pollici; in grado di contenere fino a 8 vassoi di campioni
3 modalità di plasma:
PLASMA ATTIVO per la pulizia di routine delle superfici del campione
RIE PLASMA per la pulizia aggressiva di campioni non sensibili all'ESD
DOWNSTREAM ELECTRON-FREE PLASMA per la pulizia di componenti elettronici sensibili
Ingressi gas: doppi ingressi gas con valvole a spillo, controllati da PLC
Interfaccia computer: Interfaccia RS 232
Requisiti di alimentazione: 110Volt
Corrente nominale a pieno carico: 13 Amp
Pompa del vuoto non inclusa
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