descrizione
Rilevamento e classificazione automatica dei difetti
Ispezione automatizzata degli stampi
Metrologia dimensionale di precisione
Metrologia delle dimensioni critiche (CD) e delle sovrapposizioni
Funzionamento automatico e manuale
Rilevamento dei difetti di superficie e dei bordi
Rilevamento dei difetti della struttura (ad es. macchie, ecc.)
Rilevamento di oggetti mancanti o deformati
Ampia capacità di revisione dei difetti
Mappe grafiche e archiviazione delle immagini
Importazione di file CAD
I sistemi di rilevamento dei difetti e di metrologia della serie NGS sono progettati per applicazioni che richiedono il rilevamento ottico automatizzato dei difetti e misure dimensionali di precisione su wafer e altre parti. Sono adatti a un duplice uso, come strumenti di produzione o come sistemi versatili per lo sviluppo dei processi. Questi sistemi offrono una scelta di componenti per microscopi di fascia alta (Olympus/Nikon/Leica), illuminazione BF/DF/DIC e stazionamento a motore lineare con scale da 0,02 micron. Sono disponibili diverse configurazioni a seconda delle esigenze. Queste includono: una piattaforma da 200 mm, una piattaforma da 300 mm e una piattaforma robotica per la movimentazione automatizzata di wafer e pezzi.
Sistema avanzato di metrologia dimensionale e di rilevamento dei difetti a livello di wafer
Stabilizzatore motorizzato con corsa XY di 8 "x8".
messa a fuoco motorizzata
ispezione in campo chiaro e in campo scuro
5-100 difetti/misure al secondo tipiche
Velocità di stadiazione di 200 mm/s
retroilluminazione coassiale e retroilluminazione (luce trasmessa) controllata via software con doppio alimentatore a fibra ottica da 150 W
capacità massima di carico del palcoscenico 50 libbre
base in granito e colonna Z
stadi lineari e asse Z ad anello chiuso con feedback di posizione e sistemi di encoder intelligenti Micro-e Mercury 3500 per una risoluzione superiore a 1um
Software: Sistemi di visione RMS con grafica a colori, archiviazione delle immagini e revisione offline dei difetti
Microscopio Nikon con rotazione motorizzata degli obiettivi, testa di osservazione trinoculare ultrawide inclinabile con oculari 10x
TVCC Hitachi, Windows XP
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