descrizione
ALLINEATORE A MASCHERA SUSS MA6/BA6
Completamente ricostruito dalle fondamenta Settembre 2023
- Modello: MA6 / BA6
- Produttore: Suss MicroTec
- Dimensioni del wafer: Attualmente configurato per wafer di diametro 100 mm.
-Include un mandrino per wafer posteriore da 100 mm e un supporto per maschera di prossimità.
- Allineamento Topside (TSA)
- Allineamento backside (BSA)
- Microscopio Suss DVM6
- Obiettivi:
- Ottica UV400 a campo diviso (per esposizione a 365nm e 405nm)
- Alimentazione CIC 500
- Capace di contatti duri, morbidi e sottovuoto con un'attrezzatura adeguata.
- Lampada da 350W
- Tavola di isolamento delle vibrazioni (per Suss MA6)
- Alimentazione del sistema: 230V, 50/60 Hz
- Manuale operativo per l'allineatore di maschere Suss MA6
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