descrizione
Mandrino a vuoto da 6
Coppia di microposizionatori PH500 con base a vuoto
Tavolo di isolamento delle vibrazioni Kinetic opzionale: $1600.
Telecamera a colori Infinity 2-3 da 3,3mp opzionale con monitor, PC e software
Stereozoom Mitutoyo FS60 con obiettivi APO 10x/20x
Illuminatore a fibra ottica MOTIC
Collettore del vuoto
Il SUSS PM5 è una stazione di misura per misure elettriche (DC e HF) su wafer, chip e substrati fino a 150 mm.
Dispone di due SUSS ProbeHeads posizionate sul piano stabile, con spazio per ulteriori sonde se necessario.
L'altezza del piano può essere regolata fino a 40 mm, consentendo un'impostazione rapida e semplice del sistema.
La separazione aggiuntiva dei contatti di 200 μm garantisce una regolazione fine e accurata della piastra della sonda.
Le 2 teste della sonda (movimenti X, Y, Z) sono collegate alla piastra tramite il vuoto.
Un ponte metallico, che copre la larghezza del sistema di sonde ed è fissato alla base, sostiene il microscopio.
Il microscopio è dotato di obiettivi ExtraLongWorkingDistance 10x, 20x, 50x e di un oculare 10x.
Il palcoscenico si blocca in posizione e offre un'ulteriore regolazione fine nella direzione Z.
Uno stage estraibile consente di caricare e scaricare il DUT in modo rapido ed ergonomico.
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