descrizione
Controller del mandrino termico e sistema del mandrino termico
Il sistema TP03500 è costituito da un controller a basso rumore; un gruppo mandrino a vuoto a temperatura controllata e la scelta delle opzioni di raffreddamento. Disponibile nei diametri di 200 mm (8 pollici) o 300 mm (12 pollici), ThermoChuck è adatto a wafer di diverse dimensioni. Tutti i ThermoChuck hanno la capacità di chiudere gli anelli di vuoto esterni per "trattenere" meglio i wafer più piccoli. La superficie del mandrino è isolata elettricamente e placcata (oro, nichel, anodizzata o altro) per la vostra applicazione.
Per la caratterizzazione dei dispositivi e le misurazioni analitiche su wafer e ibridi quando l'obiettivo è mantenere il contatto della sonda durante le escursioni termiche, Temptronic offre il Constant Height ThermoChuck. Progettato utilizzando la tecnologia brevettata Temptronic, il ThermoChuck ad altezza costante mantiene la crescita fino a 50 micron e la planarità fino a 50 micron nell'intero intervallo di temperature.
Caratteristiche
- Il design brevettato ThermoChuck fornisce eccezionale stabilità e precisione termica e meccanica
- Uniformità della temperatura superiore:
- Planarità della superficie
- Parallelismo superficie-base: <20 micron @+200°C
- Isolamento superficiale: > 109 ohm standard; >1014 ohm disponibili
- Il sistema di controllo CC a basso rumore riduce al minimo il rumore elettrico
- Design del sistema modulare per aggiornamenti del sistema convenienti ed economici come diametro del wafer
e i requisiti di temperatura cambiano
- Approvato CE, certificato ETL per U.S.A. e Canada e conforme agli standard SEMI S2-93A
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