descrizione
Stazione di ispezione/revisione dei wafer per wafer nudi e modellati
Ispezione di wafer da 300 mm in caricatori FOUP o di wafer da 200 mm in cassette aperte con adattatori
2 caricatori FOUP
Microscopio Axiotron 300
Robot Equipe con preallineatore PRE-5120
Mandrino per wafer da 300 mm con stadio xy da 300 mm x 300 mm
DIC, campo chiaro, campo scuro
obiettivi: Epiplan Neofluar 2.5 HD, Epiplan Neofluar 10,20,50 HD DIC, Epiplan Apochromat 100 HD DIC
sorgente luminosa allo xeno con cavo in fibra
Sistema operativo Windows NT con software SmartVIEW ver.4.13 per l'ispezione visiva e la classificazione dei difetti,
mappatura dei wafer, gestione dei file, gestione ed elaborazione delle immagini.
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