apibūdinimas
Gamintojas: Airco
"AIRCO TEMESCAL HRS 2550" DULKINIMO SISTEMA
3 TARGETAI
AUTOMATINIS / RANKINIS VOŽTUVAS
TIESIOGINĖS PAVAROS MECHANINIS SIURBLYS
DIFUZINIS SIURBLYS
GALI BŪTI PAPILDYTA BESISUKANČIU LAIKIKLIU, KAD BŪTŲ GALIMA LAIKYTI (4) 8 COLIŲ PLOKŠTELES
"Airco Temescal HRS 2550" yra dulkinimo sistema. Joje yra 3 taikiniai, automatinis / rankinis vožtuvas, tiesioginės pavaros mechaninis siurblys ir difuzinis siurblys. Taip pat turi r/f maitinimo šaltinį. Gali būti atnaujinta į rekonstruotą CTI-10 kriopumpavimo galvutę su kompresoriumi.
Techniniai duomenys
Matmenys: 16 colių aukščio x 25,5 colio
skersmuo (406 mm x 647,7 mm)
Komplektavimas: karuseliniai vertikaliai montuojami substratų laikikliai, pasirinktinė apvertimo galimybė
Talpa: (mažiausiai) 64 2 colių (51 mm) plokštelės
Apsauga: mažiausiai 3 atšvaitai
Pagrindo kaitinimas: ne daugiau kaip 3 kW
Katodų skaičius: ne daugiau kaip trys Argono įsiurbimo vožtuvas su rankiniu vožtuvu ir dozavimo galimybe
Vakuuminė kamera (įskaitant elektronikos korpusą): 82,5 colių aukščio (su korpusu)
viršutinė konsolė) x 64 colių pločio x 40 colių gylio (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Maitinimo šaltinis (įskaitant valdymo pultus):
36 colių aukštis x 25,5 colių plotis x 25,5 colių gylis (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Tipinis statinio nusodinimo greitis: 15,000
A/min aliuminio, 20 000 A/min vario
Pasiskirstymas: � 5 % su šaltinio maskavimu
Taikinio dydis: 8,25 x 3,56 colio (210 x 90 mm)
Darbinė įtampa: -400-800 V nuolatinės srovės katodo potencialas (didžiausias nusodinimo greitis esant
nuo -400 iki -500 V dc)
Didžiausia darbinė galia: 5 KW. 0,2-7 A
Darbinis slėgis: nuo 1 x 10-2 iki 1 x 10-3 torr
Aušinimo vanduo: (0,5 g/min, esant 20 °C temperatūrai) vienam šaltiniui
Išeiga: 1,5 kWh (0,5 kWh): 5 kW, srovė reguliuojama nuo 0,2 A
iki 7 A; įtampa nuo 50 V iki 800 V nuolatinės srovės;
nuo slėgio priklausantis
Darbo ciklas: 100 %.
Matavimas: išėjimo srovė nuo 0 iki 1A ir nuo 0 iki
10A, nuolatinės srovės skalė; įtampa nuo katodo iki žemės,
nuo 0 iki 1,5 kV dc; anodo-žemės įtampa,
0-150 V dc
Blokavimas: maitinimo šaltinis, kabinos durys, vanduo, kameros dangtis ir kameros slėgis
Būtinas aptarnavimas: 208/230 V kintamosios srovės, 25 A, 50/60 Hz, 3 fazės
Didžiausias vakuumas: 10-8 torrų diapazonas
Difuzinis siurblys: 5300 litrų per sekundę, 10 colių aukščio x 16 colių skersmens
Mechaninis siurblys: 35 cfm (1000 litrų per sekundę, dviejų pakopų
Šalčio gaudyklė: 4,5 litro talpos; 2600 kvadratinių colių (1,67 m2) paviršiaus plotas
Aukšto vakuumo vožtuvas: 16 colių (406 mm) vidinio skersmens, sandarus silfonas
Aukšto vakuumo apylankos vožtuvas: 3 colių (75 mm) skersmens, kintamo laidumo
Srovės vožtuvas ir neapdorojimo vožtuvas: 2 colių (51 mm) vidinis skersmuo
Vožtuvo valdymas: elektropneumatinis (visi vakuuminiai vožtuvai)
Vožtuvų sekos nustatymas: rankinis ir automatinis
Atminkite, kad šis aprašymas galėjo būti išverstas automatiškai. Norėdami gauti daugiau informacijos, susisiekite su mumis. Šio skelbimo informacija yra tik orientacinė. „Exapro“ rekomenduoja prieš perkant pasitarti su pardavėju