apibūdinimas
Vaflio dydis 300 mm
Proceso PE-ALD sistema
Programinės įrangos versija Eagle I ASMJ programinė įranga (Windows embedded XP / OS)
Norėdami atsisiųsti kartu su kitais dokumentais, žr. toliau pateiktą konfigūracijos failą.
Galimas visas schemų rinkinys pagal užsakymą.
Apdorokite PE-ALD oksidą, HT-SiO/HT-SiN
Aparatinės įrangos konfigūracija (fab):
Pagrindinė sistema ASM PE-ALD sistemos pagrindinis kompiuteris 1
Valdiklio sistema FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Gamyklos sąsaja FOUP 2
Parinkčių sistema
Kiti proceso kamera (RC3 / RC4) 2
Aparatinės įrangos konfigūracija (subfab / pagalbiniai įrenginiai):
Maitinimo stovas 1
Įrankio būsena: pašalintas, sudėtas į dėžę ir saugomas. (2023 m. kovo mėn.)
ASM Eagle kaip naujas. Jis niekada nebuvo naudojamas gamyboje ir buvo naudojamas tik plokštelėms išbandyti. Vienoje kameroje buvo droselio vožtuvo ir RF Gen problema. RF Gen buvo pakeistas, bet jie nepakeitė droselio vožtuvo, todėl plokštelėms išbandyti buvo naudojama tik viena kamera. Skystųjų dujų skydas nebuvo naudojamas. Yra 2 atsarginiai MFC.
Šioje pažangioje mašinoje naudojama plazma patobulinta atominio sluoksnio nusodinimo (PEALD) technologija, kad būtų sukurtos itin plonos, vienodos dangos ant įvairių pagrindo medžiagų. Jis gali pagaminti išskirtinio vienodumo ir atkuriamumo dangas, todėl puikiai tinka įvairiems puslaidininkių pramonės reikmėms.
ASM Eagle XP5 yra universalus įrankis, kurį galima naudoti įvairioms medžiagoms, įskaitant metalus, oksidus ir kitus junginius, nusodinti. Jis taip pat gali veikti esant įvairiems proceso slėgiams ir temperatūroms, todėl tinkamas naudoti įvairiose gamybos aplinkose.
Be įspūdingų dangos savybių, ASM Eagle XP5 taip pat sukurtas atsižvelgiant į ilgaamžiškumą ir lengvą priežiūrą. Jis yra tvirtos konstrukcijos ir yra paremtas ASM reputacija gaminant aukštos kokybės ir patikimą įrangą.
Atminkite, kad šis aprašymas galėjo būti išverstas automatiškai. Norėdami gauti daugiau informacijos, susisiekite su mumis. Šio skelbimo informacija yra tik orientacinė. „Exapro“ rekomenduoja prieš perkant pasitarti su pardavėju