apibūdinimas
iXH6045H sausasis vakuuminis siurblys
Produkto apžvalga
iXH sausojo vakuumo siurblių serija specialiai sukurta reikliems procesams puslaidininkių gamyboje, plokščiųjų ekranų ir saulės energijos srityse. Ji pasižymi mažesnėmis eksploatavimo sąnaudomis ir 10 % mažesnėmis energijos sąnaudomis, palyginti su ankstesniais modeliais. Siurblys pasižymi geresniu miltelių tvarkymu naudojant "Gas Buster™" technologiją, plačiu darbinės temperatūros diapazonu, kad būtų sumažintas šalutinių produktų kaupimasis, ir patobulinta sandarinimo technologija, kad būtų prailgintas siurblio tarnavimo laikas ir sumažinta nuotėkio rizika.
Specifikacijos
Modelis: ACHD02123300XS
Įtampa: 380-460 V
Aukšta įtampa: 6000V
Dujų modulis: Vieno režimo (44 sL/min srautas)
Išmetamasis vamzdis: Standartinis be atbulinio vožtuvo
Sandarikliai: Standartinis
Siurblio variklis: 11 kW
Stiprinimo variklis: 7,5 kW
Taikymo sritys
Didelio k ir mažo k naudojimo būdai
SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN ir EPI procesai
CVD, PECVD ir MOCVD
Juostų/plaušinimo, oksidų ėsdinimo, metalo ėsdinimo ir implantų šaltinis
Techninės specifikacijos
Matmenys:
Ilgis: 1080 mm
Plotis: 517 mm
Aukštis: 966 mm
Siurbimo greitis: 5000 - 5200 m³/h
Didžiausias vakuumas: < 5 x 10-³ mbar
Didžiausias įleidimo slėgis: 1000 mbar
Aušinimas:
Vandens srautas: 1,5 mlrd: Vandens tiekimo režimas: 12 l/min
Vandens tiekimo slėgis: 6,9 bar (100 psig)
Pagrindinės savybės
Didelis vandenilio pumpavimo greitis, idealiai tinkantis pažangiems EPI ir saulės procesams
Kompaktiška konstrukcija, užimanti mažesnį plotą, kad būtų galima lengvai integruoti į gamybos įrenginius
Atitiktis UL, CE ir S2 standartams
Šis siurblys optimizuotas sudėtingoms sąlygoms, kai svarbiausia - padidintos procesų galimybės, energijos vartojimo efektyvumas ir kompaktiškas dizainas. Išsamesnės informacijos ir eksploatavimo nurodymų rasite išsamiame gaminio vadove.
Atminkite, kad šis aprašymas galėjo būti išverstas automatiškai. Norėdami gauti daugiau informacijos, susisiekite su mumis. Šio skelbimo informacija yra tik orientacinė. „Exapro“ rekomenduoja prieš perkant pasitarti su pardavėju