apibūdinimas
Plokštelės / substrato dydis: iki 6"/150 skersmens
X, Y, Theta pakopos
Plokštumiškumas virš 6": <10 µm
Skiriamoji geba: 5 µm
Judėjimo diapazonas: 155 x 155 mm
Apkrovos eiga Y ašyje: 90 mm
Z aukščio reguliavimo diapazonas: 10 mm
Z kontakto / atskyrimo eiga: 3 mm
Theta eiga (standartinė): 360°
Theta eiga, smulki (pasirinktinai): ±10°
Laikiklis
Planuotumas: 3 µm
Vertikalus standumas 6": <15 µm/10 N
ProbeHead plokštė
Tvirtinimo tipas: Vakuuminis, magnetinis, HF
Judėjimo diapazonas: Slėgio diapazonas: 40 mm
Kontakto ir atskyrimo eiga: 0,2 mm
Pakartojamumas: 1 µm
Komunalinės paslaugos
Vakuumas: -0,8 bar
Suslėgtas oras: 4 bar
Matmenys ir svoris
Plotis x gylis x aukštis: 490 x 490 x 480 mm
Svoris: 60 kg
Atminkite, kad šis aprašymas galėjo būti išverstas automatiškai. Norėdami gauti daugiau informacijos, susisiekite su mumis. Šio skelbimo informacija yra tik orientacinė. „Exapro“ rekomenduoja prieš perkant pasitarti su pardavėju