Specificaties

Grootte van de wafel 20.32 cm
-------------------
Gewerkte uren
Uur onder stroom
Staat Goed
Volgens lokale normen Ja
Toestand

Beschrijving

Gasonics/IPC 9104 as/ech systeem
12"(dia) x 20"(D) kwartsvat
zacht pompen en spoelen
ontwerp met weinig deeltjes
2ea massastroomgasingangen met VCR-fittingen
alle SS-leidingen,
multikanaals-/één-kanaals computerbesturing, met floppy-opslag
temperatuurmonitor

ENI OEM 12B 1250W RF-generator

Wafergrootte: 4", 6", 8" mogelijk

Capaciteit: 50 8" wafers, 50-75 6" wafers, 100 4" wafers.Â

Kamer: Kwarts, compatibel met fluorchemie. Diameter 12" x diepte 20". Externe RF-elektroden.

RF-generator: 1250 watt 13,56 MHz luchtgekoeld met automatisch impedantieaanpassingsnetwerk. Watergekoeld optioneel.

Procesdruk: Ca. 120 - 2000 mtorr.

Roestvrijstalen leidingen.

Temperatuurbewaking: Thermokoppel met kwartscoating in de proceskamer.

Display: 12,1" kleurentouchscreen voor regeling en bewaking van procesparameters, automatische recepten of handmatige plasmabehandelingen.

Vier door de gebruiker gespecificeerde gassen met 500 sccm roestvrijstalen MFC's zijn standaard, met een optioneel 3e en/of 4e gaskanaal.

Stroomvereisten: 208 - 240 volt, 3 fase, 50/60 Hz 5-draads "wye".

Een NEMA-12 wandmontagebehuizing met vergrendelingshendel bevat de AC-voedingsregeling voor de asher, voeding en pomp, waardoor het complete systeem van één bron kan worden voorzien.

CE-gecertificeerd.

Houd er rekening mee dat deze beschrijving mogelijk automatisch is vertaald. Neem contact met ons op voor meer informatie. De gegevens van deze rubrieksadvertentie zijn slechts indicatief. Exapro raadt aan om vóór een aankoop de gegevens bij de verkoper te controleren


Type klant Dealer
Actief sinds 2019
Aanbiedingen online 73
Laatste Activiteit 31 januari 2025

Beschrijving

Gasonics/IPC 9104 as/ech systeem
12"(dia) x 20"(D) kwartsvat
zacht pompen en spoelen
ontwerp met weinig deeltjes
2ea massastroomgasingangen met VCR-fittingen
alle SS-leidingen,
multikanaals-/één-kanaals computerbesturing, met floppy-opslag
temperatuurmonitor

ENI OEM 12B 1250W RF-generator

Wafergrootte: 4", 6", 8" mogelijk

Capaciteit: 50 8" wafers, 50-75 6" wafers, 100 4" wafers.Â

Kamer: Kwarts, compatibel met fluorchemie. Diameter 12" x diepte 20". Externe RF-elektroden.

RF-generator: 1250 watt 13,56 MHz luchtgekoeld met automatisch impedantieaanpassingsnetwerk. Watergekoeld optioneel.

Procesdruk: Ca. 120 - 2000 mtorr.

Roestvrijstalen leidingen.

Temperatuurbewaking: Thermokoppel met kwartscoating in de proceskamer.

Display: 12,1" kleurentouchscreen voor regeling en bewaking van procesparameters, automatische recepten of handmatige plasmabehandelingen.

Vier door de gebruiker gespecificeerde gassen met 500 sccm roestvrijstalen MFC's zijn standaard, met een optioneel 3e en/of 4e gaskanaal.

Stroomvereisten: 208 - 240 volt, 3 fase, 50/60 Hz 5-draads "wye".

Een NEMA-12 wandmontagebehuizing met vergrendelingshendel bevat de AC-voedingsregeling voor de asher, voeding en pomp, waardoor het complete systeem van één bron kan worden voorzien.

CE-gecertificeerd.

Houd er rekening mee dat deze beschrijving mogelijk automatisch is vertaald. Neem contact met ons op voor meer informatie. De gegevens van deze rubrieksadvertentie zijn slechts indicatief. Exapro raadt aan om vóór een aankoop de gegevens bij de verkoper te controleren


Specificaties

Grootte van de wafel 20.32 cm
-------------------
Gewerkte uren
Uur onder stroom
Staat Goed
Volgens lokale normen Ja
Toestand

Over deze verkoper

Type klant Dealer
Actief sinds 2019
Aanbiedingen online 73
Laatste Activiteit 31 januari 2025

Hier vindt u een selectie van vergelijkbare machines

Gasonics 9104 plasma asher