Beschrijving
Gasonics/IPC 9104 as/ech systeem
12"(dia) x 20"(D) kwartsvat
zacht pompen en spoelen
ontwerp met weinig deeltjes
2ea massastroomgasingangen met VCR-fittingen
alle SS-leidingen,
multikanaals-/één-kanaals computerbesturing, met floppy-opslag
temperatuurmonitor
ENI OEM 12B 1250W RF-generator
Wafergrootte: 4", 6", 8" mogelijk
Capaciteit: 50 8" wafers, 50-75 6" wafers, 100 4" wafers.Â
Kamer: Kwarts, compatibel met fluorchemie. Diameter 12" x diepte 20". Externe RF-elektroden.
RF-generator: 1250 watt 13,56 MHz luchtgekoeld met automatisch impedantieaanpassingsnetwerk. Watergekoeld optioneel.
Procesdruk: Ca. 120 - 2000 mtorr.
Roestvrijstalen leidingen.
Temperatuurbewaking: Thermokoppel met kwartscoating in de proceskamer.
Display: 12,1" kleurentouchscreen voor regeling en bewaking van procesparameters, automatische recepten of handmatige plasmabehandelingen.
Vier door de gebruiker gespecificeerde gassen met 500 sccm roestvrijstalen MFC's zijn standaard, met een optioneel 3e en/of 4e gaskanaal.
Stroomvereisten: 208 - 240 volt, 3 fase, 50/60 Hz 5-draads "wye".
Een NEMA-12 wandmontagebehuizing met vergrendelingshendel bevat de AC-voedingsregeling voor de asher, voeding en pomp, waardoor het complete systeem van één bron kan worden voorzien.
CE-gecertificeerd.
Houd er rekening mee dat deze beschrijving mogelijk automatisch is vertaald. Neem contact met ons op voor meer informatie. De gegevens van deze rubrieksadvertentie zijn slechts indicatief. Exapro raadt aan om vóór een aankoop de gegevens bij de verkoper te controleren