Beschrijving
Automatische opsporing en classificatie van defecten
Geautomatiseerde matrijsinspectie
Precisie dimensionale metrologie
Kritieke maat (CD) en overlaymetrologie
Automatische en handmatige bediening
Detectie van oppervlakte- en randdefecten
Textuurgebreken detecteren (bijv. vlekken, enz.)
Detectie van ontbrekende of vervormde objecten
Uitgebreide mogelijkheden voor het controleren van defecten
Grafische kaarten en beeldarchivering
CAD-bestanden importeren
De NGS systemen voor defectdetectie en metrologie zijn ontworpen voor toepassingen waar geautomatiseerde optische defectdetectie en precieze dimensionale metingen op wafers en andere onderdelen nodig zijn. Ze zijn zeer geschikt voor tweeërlei gebruik als productiehulpmiddel of als veelzijdig procesontwikkelingssysteem. Deze systemen bieden een keuze uit hoogwaardige microscoopcomponenten (Olympus/Nikon/Leica), BF/DF/DIC verlichting en lineaire motorstaging met 0,02 micron schalen. Er zijn verschillende configuraties beschikbaar, afhankelijk van uw wensen. Deze omvatten: een 200mm platform, een 300mm platform en een robotplatform voor geautomatiseerde wafer- en producthandling.
Geavanceerde dimensionale meettechniek op waferniveau en detectiesysteem voor defecten
gemotoriseerde tafel met 8"x8" XY-beweging
gemotoriseerde focus
Helderveld en donkerveld inspectie
5-100 defecten/metingen per seconde typisch
200 mm/s ensceneringssnelheid
softwaregestuurde coaxiale en achtergrondverlichting (doorvallend licht) met dubbele 150 W vezeloptische voedingen
maximale belastbaarheid van podium 50lbs
granieten basis en Z-zuil
gesloten lineaire stages en Z-as met positieterugkoppeling en Micro-e Mercury 3500 slimme encodersystemen bieden een resolutie van beter dan 1um
Software: RMS Vision Systems met kleurengrafieken, beeldarchivering en offline controle van defecten
Nikon microscoop met gemotoriseerde objectiefrotatie, kantelbare ultrabrede trinoculaire kijkkop met 10x oculairen
Hitachi CCTV, Windows XP
Houd er rekening mee dat deze beschrijving mogelijk automatisch is vertaald. Neem contact met ons op voor meer informatie. De gegevens van deze rubrieksadvertentie zijn slechts indicatief. Exapro raadt aan om vóór een aankoop de gegevens bij de verkoper te controleren