Semilab CMS3 Wafelmachine Geverifieerde verkoper

Beschrijving

SNELLE CONTACTLOZE MATERIAALKARAKTERISERING EN PROCESBESTURING

De weerstand van de emitterplaat is een primaire parameter voor kwaliteitscontrole van siliciumwafers in PV-toepassingen na emitterdiffusie.

Met de CLS-modellen CLS-1A, CLS-3A en CLS-5A, weerstandstesters voor emitterplaten, kan de plaatweerstand op 1 tot 5 punten worden gemeten met een hoge verwerkingscapaciteit die voldoet aan de eisen van in-line kwaliteitscontrole in volledig geautomatiseerde celproductielijnen.

Met de CMS modellen, CMS-1A, CMS-3A, Emitter Sheet Resistance Testers kunnen wafers gemeten worden, d.w.z. de transportband stopt niet tijdens de meting. Daarom hebben ze een hoge verwerkingscapaciteit die voldoet aan de vereisten van in-line kwaliteitscontrole in volledig geautomatiseerde celproductielijnen.

Kenmerken en systeemspecificaties:

Meettechniek: contactloos, junction photovoltage (JPV)
Monstergrootte: 100 tot 156 mm (210 mm optie)
Monsterstructuur: np- of pn-juncties
Meetbereik: 10 Î/sq. tot 200 I/sq.
Sondeafstand: 1,5 mm sondehoogte boven transportband
Tolerantie verticale positie wafer: < 400 μm
Monstersteun: op band
Kalibratie: door wafers geverifieerd met vierpuntssonde
Opties:

Meetmodule (incl. 1A-5A meetkoppen voor plaatweerstand)
Industriële pc (Windows-besturingssysteem) en randapparatuur
Optie: CLS-1M emittercontrole
Wafer-aanwezigheidssensor (alleen CMS)
Grote verscheidenheid aan beschikbare interfaces voor automatisering en MES:

24V optisch geïsoleerde I/O, Ethernet-interface
Profibus
OPC DA
TCP/IP-protocol, inhoud kan XML of ASCII zijn
SQL-database
SECS/GEM