Beschrijving
SSEC SCHOON 3300
MODEL: M3302
208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP
Fabricagedatum 8/30/05
AC Dwg-nr. 330i1712
1) de wafer wordt ondergedompeld in een mengsel van oplosmiddelen (zogenaamde reiniging door onderdompeling)
2) er vindt een verwerking plaats door middel van verstuiving van oplosmiddelen (de zogenaamde Fan Spray Processing) en stikstofdroging.
De eenheid heeft een zogenaamd dry-in/dry-out systeem (droge wafers in/droge wafers uit).
Het na DRIE etsen reinigen van TSV's is essentieel voor de betrouwbaarheid van 2,5D en 3D IC-apparaten. SSEC's gepatenteerde
soak- en spraytechnologie minimaliseert de spraytijd en het gebruik van chemicaliën voor lagere eigendomskosten dan
conventionele natte methode of één enkele spray; het bereikte 100% fotoresist en zijwandreiniging.
fluorpolymeer 5x sneller dan met alleen sproeien.
Het gereedschap beschikt over software voor gelijktijdige inweking voor procesbesturing. Elke wafer weekt in verwarmde, recirculerende
oplosmiddel lang genoeg om de polymeerresten te penetreren. Na de natte overdracht naar het spuitstation wordt de
wordt de wafer onder hoge druk besproeid om de resterende resten snel te verwijderen. Het resultaat is 100%
verwijdering van fotolak en polymeer. Inweken en spuiten kost 88% minder tijd en 77,5% minder chemie dan
processen met alleen sproeien.
Houd er rekening mee dat deze beschrijving mogelijk automatisch is vertaald. Neem contact met ons op voor meer informatie. De gegevens van deze rubrieksadvertentie zijn slechts indicatief. Exapro raadt aan om vóór een aankoop de gegevens bij de verkoper te controleren