Beschrijving
Thermische chuck-controller en thermochuck-systeem
Het TP03500-systeem bestaat uit een geluidsarme controller; een temperatuurgecontroleerde vacuümklauwplaat en uw keuze aan koelopties. De ThermoChuck is verkrijgbaar in diameters van 200 mm (8 inch) of 300 mm (12 inch) en biedt plaats aan verschillende wafelformaten. Alle ThermoChucks hebben de mogelijkheid om de buitenste vacuümringen uit te schakelen voor een betere “vasthouding” van kleinere wafers. Het oppervlak van de spankop is elektrisch geïsoleerd en geplateerd (goud, nikkel, geanodiseerd of anders) voor uw toepassing.
Voor apparaatkarakterisering en analytische metingen op wafers en hybriden waarbij het doel is om sondecontact te behouden tijdens temperatuurschommelingen, biedt Temptronic de ThermoChuck met constante hoogte. De Constant Height ThermoChuck is ontworpen met behulp van de gepatenteerde technologie van Temptronic en behoudt een groei van slechts 50 micron en een vlakheid tot 50 micron over het gehele temperatuurbereik.
Functies
- Gepatenteerd ThermoChuck-ontwerp zorgt voor uitzonderlijke thermische en mechanische stabiliteit en precisie
- Superieure temperatuuruniformiteit:
- Oppervlaktevlakheid
- Parallellisme van oppervlak tot basis: <20 micron @+200°C
- Oppervlakte-isolatie: > 109 ohm standaard; >1014 ohm beschikbaar
- Laag geluidsniveau DC-regelsysteem beperkt elektrische ruis tot een minimum
- Modulair systeemontwerp voor handige, kosteneffectieve systeemupgrades als waferdiameter
en temperatuurvereisten veranderen
- CE-goedgekeurd, ETL-gecertificeerd voor de VS en Canada en voldoet aan de SEMI S2-93A-normen
Houd er rekening mee dat deze beschrijving mogelijk automatisch is vertaald. Neem contact met ons op voor meer informatie. De gegevens van deze rubrieksadvertentie zijn slechts indicatief. Exapro raadt aan om vóór een aankoop de gegevens bij de verkoper te controleren