Beschrijving
Wafer-inspectie-/reviewstation voor naakte en gemodelleerde wafers
Inspecteer 300mm wafers in FOUP laders of 200mm wafers in open cassettes met adapters
2 FOUP laders
Axiotron 300 microscoop
Equipe robot met PRE-5120 vooruitlijner
300mm wafer chuck met 300mm x 300mm xy stage
DIC, helderveld, donkerveld
objectieven: Epiplan Neofluar 2.5 HD, Epiplan Neofluar 10,20,50 HD DIC, Epiplan Apochromat 100 HD DIC
xenon lichtbron met vezelkabel
Windows NT-besturingssysteem met SmartVIEW ver.4.13 software voor visuele inspectie en defectclassificatie,
wafer mapping, bestandsbeheer, beeldverwerking en -verwerking.
Houd er rekening mee dat deze beschrijving mogelijk automatisch is vertaald. Neem contact met ons op voor meer informatie. De gegevens van deze rubrieksadvertentie zijn slechts indicatief. Exapro raadt aan om vóór een aankoop de gegevens bij de verkoper te controleren