Dane techniczne

Funkcja inne
-------------------
Roboczogodziny
Godziny podłączenia do prądu
Stan techniczny dobry
Zgodność z normami CE ---------
Status

Opis

Producent: Airco
SYSTEM NAPYLANIA AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 TARCZE
AUTOMATYCZNY/RĘCZNY ZAWÓR
POMPA MECHANICZNA Z NAPĘDEM BEZPOŚREDNIM
POMPA DYFUZYJNA
MOŻLIWOŚĆ ROZBUDOWY O OBROTOWY UCHWYT DO PRZECHOWYWANIA (4) 8" WAFLI

Airco Temescal HRS 2550 to system do napylania. Posiada 3 cele, automatyczny/ręczny zawór, pompę mechaniczną z napędem bezpośrednim i pompę dyfuzyjną. Posiada również zasilacz r/f. Możliwość rozbudowy do przebudowanej głowicy CTI-10 Cryopump ze sprężarką.
Dane techniczne
Wymiary: 16 cali wysokości x 25,5 cala
średnicy (406 mm x 647,7 mm)
Mocowanie: karuzelowe uchwyty na substraty montowane pionowo, opcjonalna funkcja flip-flop
Pojemność: (minimum) 64 wafle 2-calowe (51 mm)
Ekranowanie: minimum 3-bounce
Ciepło podłoża: maksymalnie 3 kW
Liczba katod: maksymalnie trzy Ręczny zawór wlotowy argonu z uszczelnieniem mieszkowym i możliwością dozowania

Kabina próżniowa (w tym obudowa elektroniki): 82,5 cala wysokości (z szafką
szafką) x 64 cale szerokości x 40 cali głębokości (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Zasilanie (w tym konsole sterowania):
36 cali wysokości x 25,5 cala szerokości x 25,5 cala głębokości (915 mm x 650 mm x 650 mm)
Typowe szybkości osadzania statycznego: 15,000
A/minutę aluminium, 20 000 A/minutę miedź
Dystrybucja: � 5% z maskowaniem źródła
Rozmiar docelowy: 8,25 cala x 3,56 cala (210 mm x 90 mm)
Napięcie robocze: -400 do -800 V dc potencjału katody (szczytowe szybkości osadzania przy
-400 do -500V dc)
Maksymalny poziom mocy roboczej: 5 KW. 0,2 do 7A
Ciśnienie robocze: 1 x 10-2 do 1 x 10-3 torr
Woda chłodząca: (0,5 galonów USA/min przy 20°C) na źródło

Moc wyjściowa: 5 kW, prąd regulowany w zakresie od 0,2 A
do 7A; napięcie od 50V dc do 800V dc;
zależne od ciśnienia
Cykl pracy: 100%
Pomiary: prąd wyjściowy, od 0 do 1A i od 0 do
10A, skala DC; napięcie katoda-ziemia,
0 do 1,5 kV dc; napięcie anoda-ziemia,
0 do 150V dc
Blokady: zasilania, drzwi kabiny, wody, pokrywy komory i ciśnienia w komorze
Wymagane zasilanie: 208/230 V AC, 25 A, 50/60 Hz, 3 fazy

Najwyższa próżnia: zakres 10-8 torr
Pompa dyfuzyjna: 5300 litrów/sekundę, 10 cali wysokości x 16 cali średnicy wewnętrznej
Pompa mechaniczna: 35 cfm (1000 litrów/s), dwustopniowa
Pułapka zimna: pojemność 4,5 litra; powierzchnia 2600 cali kwadratowych (1,67 m2)
Zawór wysokiego podciśnienia: śr. wew. 16 cali (406 mm), uszczelniony mieszkowo
Zawór obejściowy wysokiego podciśnienia: 3 cale (75 mm) średnicy wewnętrznej, zmienna przewodność
Zawór Famine i zawór zgrubny: 2 cale (51 mm) średnicy wewnętrznej
Uruchamianie zaworu: elektropneumatyczne (wszystkie zawory próżniowe)
Sekwencjonowanie zaworów: ręczne i automatyczne

Ten opis mógł być przetłumaczony automatycznie. W celu uzyskania dalszych informacji prosimy o kontakt. Informacje zawarte w tym ogłoszeniu mają jedynie charakter orientacyjny. Sugerujemy sprawdzić szczegóły ze sprzedawcą przed dokonaniem zakupu.


Rodzaj klienta Handlarz
Aktywny od 2014
Liczba ofert online 46
Ostatnia aktywność 19 grudnia 2024

Opis

Producent: Airco
SYSTEM NAPYLANIA AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 TARCZE
AUTOMATYCZNY/RĘCZNY ZAWÓR
POMPA MECHANICZNA Z NAPĘDEM BEZPOŚREDNIM
POMPA DYFUZYJNA
MOŻLIWOŚĆ ROZBUDOWY O OBROTOWY UCHWYT DO PRZECHOWYWANIA (4) 8" WAFLI

Airco Temescal HRS 2550 to system do napylania. Posiada 3 cele, automatyczny/ręczny zawór, pompę mechaniczną z napędem bezpośrednim i pompę dyfuzyjną. Posiada również zasilacz r/f. Możliwość rozbudowy do przebudowanej głowicy CTI-10 Cryopump ze sprężarką.
Dane techniczne
Wymiary: 16 cali wysokości x 25,5 cala
średnicy (406 mm x 647,7 mm)
Mocowanie: karuzelowe uchwyty na substraty montowane pionowo, opcjonalna funkcja flip-flop
Pojemność: (minimum) 64 wafle 2-calowe (51 mm)
Ekranowanie: minimum 3-bounce
Ciepło podłoża: maksymalnie 3 kW
Liczba katod: maksymalnie trzy Ręczny zawór wlotowy argonu z uszczelnieniem mieszkowym i możliwością dozowania

Kabina próżniowa (w tym obudowa elektroniki): 82,5 cala wysokości (z szafką
szafką) x 64 cale szerokości x 40 cali głębokości (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Zasilanie (w tym konsole sterowania):
36 cali wysokości x 25,5 cala szerokości x 25,5 cala głębokości (915 mm x 650 mm x 650 mm)
Typowe szybkości osadzania statycznego: 15,000
A/minutę aluminium, 20 000 A/minutę miedź
Dystrybucja: � 5% z maskowaniem źródła
Rozmiar docelowy: 8,25 cala x 3,56 cala (210 mm x 90 mm)
Napięcie robocze: -400 do -800 V dc potencjału katody (szczytowe szybkości osadzania przy
-400 do -500V dc)
Maksymalny poziom mocy roboczej: 5 KW. 0,2 do 7A
Ciśnienie robocze: 1 x 10-2 do 1 x 10-3 torr
Woda chłodząca: (0,5 galonów USA/min przy 20°C) na źródło

Moc wyjściowa: 5 kW, prąd regulowany w zakresie od 0,2 A
do 7A; napięcie od 50V dc do 800V dc;
zależne od ciśnienia
Cykl pracy: 100%
Pomiary: prąd wyjściowy, od 0 do 1A i od 0 do
10A, skala DC; napięcie katoda-ziemia,
0 do 1,5 kV dc; napięcie anoda-ziemia,
0 do 150V dc
Blokady: zasilania, drzwi kabiny, wody, pokrywy komory i ciśnienia w komorze
Wymagane zasilanie: 208/230 V AC, 25 A, 50/60 Hz, 3 fazy

Najwyższa próżnia: zakres 10-8 torr
Pompa dyfuzyjna: 5300 litrów/sekundę, 10 cali wysokości x 16 cali średnicy wewnętrznej
Pompa mechaniczna: 35 cfm (1000 litrów/s), dwustopniowa
Pułapka zimna: pojemność 4,5 litra; powierzchnia 2600 cali kwadratowych (1,67 m2)
Zawór wysokiego podciśnienia: śr. wew. 16 cali (406 mm), uszczelniony mieszkowo
Zawór obejściowy wysokiego podciśnienia: 3 cale (75 mm) średnicy wewnętrznej, zmienna przewodność
Zawór Famine i zawór zgrubny: 2 cale (51 mm) średnicy wewnętrznej
Uruchamianie zaworu: elektropneumatyczne (wszystkie zawory próżniowe)
Sekwencjonowanie zaworów: ręczne i automatyczne

Ten opis mógł być przetłumaczony automatycznie. W celu uzyskania dalszych informacji prosimy o kontakt. Informacje zawarte w tym ogłoszeniu mają jedynie charakter orientacyjny. Sugerujemy sprawdzić szczegóły ze sprzedawcą przed dokonaniem zakupu.


Dane techniczne

Funkcja inne
-------------------
Roboczogodziny
Godziny podłączenia do prądu
Stan techniczny dobry
Zgodność z normami CE ---------
Status

O sprzedawcy

Rodzaj klienta Handlarz
Aktywny od 2014
Liczba ofert online 46
Ostatnia aktywność 19 grudnia 2024

Lista podobnych maszyn

System rozpylania Airco Temescal Hrs 2550