Opis
Producent: Airco
SYSTEM NAPYLANIA AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 TARCZE
AUTOMATYCZNY/RĘCZNY ZAWÓR
POMPA MECHANICZNA Z NAPĘDEM BEZPOŚREDNIM
POMPA DYFUZYJNA
MOŻLIWOŚĆ ROZBUDOWY O OBROTOWY UCHWYT DO PRZECHOWYWANIA (4) 8" WAFLI
Airco Temescal HRS 2550 to system do napylania. Posiada 3 cele, automatyczny/ręczny zawór, pompę mechaniczną z napędem bezpośrednim i pompę dyfuzyjną. Posiada również zasilacz r/f. Możliwość rozbudowy do przebudowanej głowicy CTI-10 Cryopump ze sprężarką.
Dane techniczne
Wymiary: 16 cali wysokości x 25,5 cala
średnicy (406 mm x 647,7 mm)
Mocowanie: karuzelowe uchwyty na substraty montowane pionowo, opcjonalna funkcja flip-flop
Pojemność: (minimum) 64 wafle 2-calowe (51 mm)
Ekranowanie: minimum 3-bounce
Ciepło podłoża: maksymalnie 3 kW
Liczba katod: maksymalnie trzy Ręczny zawór wlotowy argonu z uszczelnieniem mieszkowym i możliwością dozowania
Kabina próżniowa (w tym obudowa elektroniki): 82,5 cala wysokości (z szafką
szafką) x 64 cale szerokości x 40 cali głębokości (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Zasilanie (w tym konsole sterowania):
36 cali wysokości x 25,5 cala szerokości x 25,5 cala głębokości (915 mm x 650 mm x 650 mm)
Typowe szybkości osadzania statycznego: 15,000
A/minutę aluminium, 20 000 A/minutę miedź
Dystrybucja: � 5% z maskowaniem źródła
Rozmiar docelowy: 8,25 cala x 3,56 cala (210 mm x 90 mm)
Napięcie robocze: -400 do -800 V dc potencjału katody (szczytowe szybkości osadzania przy
-400 do -500V dc)
Maksymalny poziom mocy roboczej: 5 KW. 0,2 do 7A
Ciśnienie robocze: 1 x 10-2 do 1 x 10-3 torr
Woda chłodząca: (0,5 galonów USA/min przy 20°C) na źródło
Moc wyjściowa: 5 kW, prąd regulowany w zakresie od 0,2 A
do 7A; napięcie od 50V dc do 800V dc;
zależne od ciśnienia
Cykl pracy: 100%
Pomiary: prąd wyjściowy, od 0 do 1A i od 0 do
10A, skala DC; napięcie katoda-ziemia,
0 do 1,5 kV dc; napięcie anoda-ziemia,
0 do 150V dc
Blokady: zasilania, drzwi kabiny, wody, pokrywy komory i ciśnienia w komorze
Wymagane zasilanie: 208/230 V AC, 25 A, 50/60 Hz, 3 fazy
Najwyższa próżnia: zakres 10-8 torr
Pompa dyfuzyjna: 5300 litrów/sekundę, 10 cali wysokości x 16 cali średnicy wewnętrznej
Pompa mechaniczna: 35 cfm (1000 litrów/s), dwustopniowa
Pułapka zimna: pojemność 4,5 litra; powierzchnia 2600 cali kwadratowych (1,67 m2)
Zawór wysokiego podciśnienia: śr. wew. 16 cali (406 mm), uszczelniony mieszkowo
Zawór obejściowy wysokiego podciśnienia: 3 cale (75 mm) średnicy wewnętrznej, zmienna przewodność
Zawór Famine i zawór zgrubny: 2 cale (51 mm) średnicy wewnętrznej
Uruchamianie zaworu: elektropneumatyczne (wszystkie zawory próżniowe)
Sekwencjonowanie zaworów: ręczne i automatyczne
Ten opis mógł być przetłumaczony automatycznie. W celu uzyskania dalszych informacji prosimy o kontakt. Informacje zawarte w tym ogłoszeniu mają jedynie charakter orientacyjny. Sugerujemy sprawdzić szczegóły ze sprzedawcą przed dokonaniem zakupu.