Opis
Rozmiar wafla 300 mm
Procesowy system PE-ALD
Wersja oprogramowania Oprogramowanie Eagle I ASMJ (wbudowany system operacyjny Windows XP/OS)
Zobacz plik konfiguracyjny poniżej do pobrania wraz z innymi dokumentami.
Pełny zestaw schematów dostępny na życzenie.
Proces: tlenek PE-ALD, HT-SiO/HT-SiN
Konfiguracja sprzętu (fab):
Główny system ASM PE-ALD System Mainframe 1
System obsługi FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Interfejs fabryczny FOUP 2
Opcje systemu
Inne Komora procesowa (RC3 / RC4) 2
Konfiguracja sprzętu (jednostki pomocnicze/podrzędne):
Szafka zasilająca 1
Stan narzędzia: zdemontowane, zapakowane w skrzynię i przechowywane. (marzec 2023)
ASM Eagle jest jak nowy. Nigdy nie był używany w produkcji i służył jedynie do testowania płytek. W jednej komorze wystąpił problem z przepustnicą i problemem RF Gen. RF Gen został wymieniony, ale nie wymieniono przepustnicy, więc do testowania płytek wykorzystano tylko jedną komorę. Panel na gaz ciekły nie był używany. W zestawie znajdują się 2 zapasowe MFC.
Ta zaawansowana maszyna wykorzystuje technologię osadzania warstw atomowych wspomaganego plazmą (PEALD) do tworzenia ultracienkich, jednolitych powłok na różnych materiałach podłoża. Umożliwia wytwarzanie powłok o wyjątkowej jednorodności i powtarzalności, dzięki czemu idealnie nadaje się do szerokiego zakresu zastosowań w przemyśle półprzewodników.
ASM Eagle XP5 to wszechstronne narzędzie, którego można używać do osadzania szerokiej gamy materiałów, w tym metali, tlenków i innych związków. Może również pracować w szerokim zakresie ciśnień i temperatur procesowych, dzięki czemu nadaje się do stosowania w różnych środowiskach produkcyjnych.
Oprócz imponujących możliwości powlekania, ASM Eagle XP5 jest również zbudowany z myślą o trwałości i łatwości konserwacji. Ma solidną konstrukcję i jest poparty reputacją firmy ASM jako producenta wysokiej jakości, niezawodnego sprzętu.
Ten opis mógł być przetłumaczony automatycznie. W celu uzyskania dalszych informacji prosimy o kontakt. Informacje zawarte w tym ogłoszeniu mają jedynie charakter orientacyjny. Sugerujemy sprawdzić szczegóły ze sprzedawcą przed dokonaniem zakupu.