Dane techniczne

-------------------
Roboczogodziny
Godziny podłączenia do prądu
Stan techniczny dobry
Zgodność z normami CE ---------
Status

Opis

Rozmiar wafla 300 mm
Procesowy system PE-ALD
Wersja oprogramowania Oprogramowanie Eagle I ASMJ (wbudowany system operacyjny Windows XP/OS)
Zobacz plik konfiguracyjny poniżej do pobrania wraz z innymi dokumentami.
Pełny zestaw schematów dostępny na życzenie.
Proces: tlenek PE-ALD, HT-SiO/HT-SiN
Konfiguracja sprzętu (fab):
Główny system ASM PE-ALD System Mainframe 1
System obsługi FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Interfejs fabryczny FOUP 2
Opcje systemu
Inne Komora procesowa (RC3 / RC4) 2
Konfiguracja sprzętu (jednostki pomocnicze/podrzędne):
Szafka zasilająca 1
Stan narzędzia: zdemontowane, zapakowane w skrzynię i przechowywane. (marzec 2023)

ASM Eagle jest jak nowy. Nigdy nie był używany w produkcji i służył jedynie do testowania płytek. W jednej komorze wystąpił problem z przepustnicą i problemem RF Gen. RF Gen został wymieniony, ale nie wymieniono przepustnicy, więc do testowania płytek wykorzystano tylko jedną komorę. Panel na gaz ciekły nie był używany. W zestawie znajdują się 2 zapasowe MFC.

Ta zaawansowana maszyna wykorzystuje technologię osadzania warstw atomowych wspomaganego plazmą (PEALD) do tworzenia ultracienkich, jednolitych powłok na różnych materiałach podłoża. Umożliwia wytwarzanie powłok o wyjątkowej jednorodności i powtarzalności, dzięki czemu idealnie nadaje się do szerokiego zakresu zastosowań w przemyśle półprzewodników.
ASM Eagle XP5 to wszechstronne narzędzie, którego można używać do osadzania szerokiej gamy materiałów, w tym metali, tlenków i innych związków. Może również pracować w szerokim zakresie ciśnień i temperatur procesowych, dzięki czemu nadaje się do stosowania w różnych środowiskach produkcyjnych.
Oprócz imponujących możliwości powlekania, ASM Eagle XP5 jest również zbudowany z myślą o trwałości i łatwości konserwacji. Ma solidną konstrukcję i jest poparty reputacją firmy ASM jako producenta wysokiej jakości, niezawodnego sprzętu.

Ten opis mógł być przetłumaczony automatycznie. W celu uzyskania dalszych informacji prosimy o kontakt. Informacje zawarte w tym ogłoszeniu mają jedynie charakter orientacyjny. Sugerujemy sprawdzić szczegóły ze sprzedawcą przed dokonaniem zakupu.


Rodzaj klienta Handlarz
Aktywny od 2010
Liczba ofert online 38
Ostatnia aktywność 30 stycznia 2025

Opis

Rozmiar wafla 300 mm
Procesowy system PE-ALD
Wersja oprogramowania Oprogramowanie Eagle I ASMJ (wbudowany system operacyjny Windows XP/OS)
Zobacz plik konfiguracyjny poniżej do pobrania wraz z innymi dokumentami.
Pełny zestaw schematów dostępny na życzenie.
Proces: tlenek PE-ALD, HT-SiO/HT-SiN
Konfiguracja sprzętu (fab):
Główny system ASM PE-ALD System Mainframe 1
System obsługi FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Interfejs fabryczny FOUP 2
Opcje systemu
Inne Komora procesowa (RC3 / RC4) 2
Konfiguracja sprzętu (jednostki pomocnicze/podrzędne):
Szafka zasilająca 1
Stan narzędzia: zdemontowane, zapakowane w skrzynię i przechowywane. (marzec 2023)

ASM Eagle jest jak nowy. Nigdy nie był używany w produkcji i służył jedynie do testowania płytek. W jednej komorze wystąpił problem z przepustnicą i problemem RF Gen. RF Gen został wymieniony, ale nie wymieniono przepustnicy, więc do testowania płytek wykorzystano tylko jedną komorę. Panel na gaz ciekły nie był używany. W zestawie znajdują się 2 zapasowe MFC.

Ta zaawansowana maszyna wykorzystuje technologię osadzania warstw atomowych wspomaganego plazmą (PEALD) do tworzenia ultracienkich, jednolitych powłok na różnych materiałach podłoża. Umożliwia wytwarzanie powłok o wyjątkowej jednorodności i powtarzalności, dzięki czemu idealnie nadaje się do szerokiego zakresu zastosowań w przemyśle półprzewodników.
ASM Eagle XP5 to wszechstronne narzędzie, którego można używać do osadzania szerokiej gamy materiałów, w tym metali, tlenków i innych związków. Może również pracować w szerokim zakresie ciśnień i temperatur procesowych, dzięki czemu nadaje się do stosowania w różnych środowiskach produkcyjnych.
Oprócz imponujących możliwości powlekania, ASM Eagle XP5 jest również zbudowany z myślą o trwałości i łatwości konserwacji. Ma solidną konstrukcję i jest poparty reputacją firmy ASM jako producenta wysokiej jakości, niezawodnego sprzętu.

Ten opis mógł być przetłumaczony automatycznie. W celu uzyskania dalszych informacji prosimy o kontakt. Informacje zawarte w tym ogłoszeniu mają jedynie charakter orientacyjny. Sugerujemy sprawdzić szczegóły ze sprzedawcą przed dokonaniem zakupu.


Dane techniczne

-------------------
Roboczogodziny
Godziny podłączenia do prądu
Stan techniczny dobry
Zgodność z normami CE ---------
Status

O sprzedawcy

Rodzaj klienta Handlarz
Aktywny od 2010
Liczba ofert online 38
Ostatnia aktywność 30 stycznia 2025

Lista podobnych maszyn

Maszyna do produkcji płytek półprzewodnikowych ASM Eagle XP5 PEALD