Opis
Sucha pompa próżniowa iXH6045H
Przegląd produktów
Seria suchych pomp iXH została specjalnie zaprojektowana do wymagających procesów w produkcji półprzewodników, płaskich wyświetlaczy panelowych i zastosowań solarnych. Oferuje niższy koszt posiadania przy 10% niższym zużyciu energii w porównaniu z poprzednimi modelami. Pompa charakteryzuje się ulepszoną obsługą proszków dzięki technologii Gas Buster™, szerokim zakresem temperatur roboczych w celu zminimalizowania gromadzenia się produktów ubocznych oraz ulepszoną technologią uszczelnień w celu wydłużenia żywotności pompy i zmniejszenia ryzyka wycieku.
Specyfikacja
Model: ACHD02123300XS
Napięcie: 380-460 V
Wysokie napięcie: 6000V
Moduł gazowy: Tryb pojedynczy (przepływ 44 sL/min)
Wydech: Standardowy bez zaworu zwrotnego
Uszczelki: Standardowe
Silnik pompy: 11 kW
Silnik wspomagający: 7,5 kW
Zastosowania
Zastosowania high-k i low-k
Procesy SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN i EPI
CVD, PECVD i MOCVD
Strip/ashing, wytrawianie tlenków, wytrawianie metali i źródło implantów
Dane techniczne
Wymiary:
Długość: 1080 mm
Szerokość: 517 mm
Wysokość: 966 mm
Wydajność:
Prędkość pompowania: 5000 - 5200 m³/h
Najwyższa próżnia: < 5 x 10-³ mbar
Maksymalne ciśnienie wlotowe: 1000 mbar
Chłodzenie:
Przepływ wody: 12 l/min
Ciśnienie zasilania wodą: 6,9 bar (100 psig)
Główne cechy
Wysoka prędkość pompowania wodoru idealna do zaawansowanych procesów EPI i solarnych
Kompaktowa konstrukcja o mniejszej powierzchni dla łatwej integracji z zakładami produkcyjnymi
Zgodność z normami UL, CE i S2
Pompa ta została zoptymalizowana pod kątem wymagających środowisk, w których kluczowe znaczenie mają zwiększone możliwości procesowe, efektywność energetyczna i kompaktowa konstrukcja. Więcej szczegółów i wskazówek dotyczących eksploatacji można znaleźć w pełnej instrukcji obsługi produktu.
Ten opis mógł być przetłumaczony automatycznie. W celu uzyskania dalszych informacji prosimy o kontakt. Informacje zawarte w tym ogłoszeniu mają jedynie charakter orientacyjny. Sugerujemy sprawdzić szczegóły ze sprzedawcą przed dokonaniem zakupu.