Opis
Automatyczne wykrywanie i klasyfikacja wad
Automatyczna inspekcja matryc
Precyzyjna metrologia wymiarowa
Wymiar krytyczny (CD) i metrologia nakładek
Automatyczna i ręczna obsługa
Wykrywanie wad powierzchni i krawędzi
Wykrywanie wad tekstury (np. plam itp.)
Wykrywanie brakujących lub zdeformowanych obiektów
Rozbudowane możliwości przeglądu wad
Mapy graficzne i archiwizacja obrazów
Import plików CAD
Systemy detekcji defektów i metrologii z serii NGS są przeznaczone do zastosowań, w których wymagana jest zautomatyzowana optyczna detekcja defektów i precyzyjne pomiary wymiarowe na waflach i innych częściach. Doskonale nadają się do podwójnego zastosowania jako narzędzia produkcyjne lub jako wszechstronne systemy rozwoju procesów. Systemy te oferują wybór wysokiej klasy komponentów mikroskopowych (Olympus/Nikon/Leica), oświetlenie BF/DF/DIC i liniowy silnik z podziałką 0,02 mikrona. Dostępnych jest kilka konfiguracji w zależności od wymagań użytkownika. Obejmują one: platformę 200 mm, platformę 300 mm i platformę zrobotyzowaną do zautomatyzowanej obsługi płytek i części.
Zaawansowana metrologia wymiarowa na poziomie wafla i system wykrywania defektów
zmotoryzowany stolik z przesuwem 8 "x8" XY
zmotoryzowane ogniskowanie
inspekcja w jasnym i ciemnym polu
Typowo 5-100 defektów/pomiarów na sekundę
Prędkość przemieszczania 200 mm/s
sterowane programowo podświetlenie współosiowe i podświetlenie (światło przechodzące) z podwójnymi zasilaczami światłowodowymi 150 W
maksymalna nośność stolika 50 funtów
granitowa podstawa i kolumna Z
stoliki liniowe w pętli zamkniętej i oś Z ze sprzężeniem zwrotnym pozycji oraz inteligentne enkodery Micro-e Mercury 3500 zapewniają rozdzielczość lepszą niż 1um
Oprogramowanie: RMS Vision Systems z kolorową grafiką, archiwizacją obrazów i przeglądem defektów offline
Mikroskop Nikon ze zmotoryzowanym obrotem obiektywu, przechylną głowicą trójokularową z okularami 10x
Hitachi CCTV, Windows XP
Ten opis mógł być przetłumaczony automatycznie. W celu uzyskania dalszych informacji prosimy o kontakt. Informacje zawarte w tym ogłoszeniu mają jedynie charakter orientacyjny. Sugerujemy sprawdzić szczegóły ze sprzedawcą przed dokonaniem zakupu.