Opis
System Nano PLD-1000 jest w pełni zintegrowanym urządzeniem do osadzania laserowego wielowarstwowych warstw na podłożach o średnicy do 2 cali. Wykorzystuje on trzy źródła energii: laser Coherent Lambda PhysikCOMPex PRO 110, źródło rozpraszania magnetronowego oraz źródło jonów Veeco 3 cm.
Kluczowe komponenty i specyfikacje:
System laserowy: Laser ekscymerowy PhysikCOMPex PRO 110 Lambda (248 nm, KrF) z technologią Ceramic Tube, prędkością powtarzania do 100 Hz i mocą 20 MW/impuls.
Źródło magnetronowe: Magnetron PVD Products Titan o średnicy tarczy 5 cm, pracujący w trybach DC (maks. 400 W) lub RF (maks. 300 W) przy ciśnieniu od 0,5 mTorr do 1 Torr.
Źródło jonów: Źródło jonów Veeco 3 cm z siatkami ogniskującymi, neutralizatorem, energią wiązki 50-1200 eV i maksymalnym prądem 100 mA.
System próżniowy:
Komora próżniowa z kołnierzami do akcesoriów (np. spektroskopia, działo jonowe). Zawiera chłodzoną wodą sondę próżniową Pfeiffer, pompę turbo (250 l/s, 60 000 obr./min) i pompę rotacyjną.
Mierniki próżni: InstruTech Convectron (atmosferyczny do 10^-3 Torr) i Hornet Bayard-Alpert (do 10^-9 Torr).
Przepływomierz cyfrowy MKS (50 sccm) skalibrowany dla tlenu z ręcznym odcięciem.
Funkcje optyczne i manipulacyjne:
Stała ścieżka optyczna o długości fali 248 nm, 2-calowe zwierciadła HR i kąt padania lasera 60° w celu zmniejszenia zanieczyszczenia.
Trójpozycyjny manipulator celu (3" lub 6 x 2", maks. grubość 6 mm) ze skomputeryzowanym wyborem i obrotem do 50 obr.
Obsługa podłoża:
Podgrzewacz podłoża (maks. 6000°C) z powłoką chłodzoną wodą. Odległość cel-podłoże: 75 mm.
Programowalna klapa do wymiany próbek ze zmotoryzowanym wspornikiem osi Z (skok 2") i pompą turbo (70 l/s, 90 000 obr./min). Ciśnienie bazowe: < 5 x 10^-8 Torr.
Dodatkowe funkcje:
Inteligentny system okien Nano PLD IW z tarczą ze szkła kwarcowego i rozdzielaczem wiązki zapewniającym większą czystość ścieżki optycznej.
Pirometr optyczny (zakres spektralny 0,78-1,06 μm) do monitorowania temperatury podłoża (500-2000°C).
Przepływomierze masowe, chłodnica wody, sprężarka powietrza i obrotowy zespół podłoża (do 40 obr./min) do równomiernego osadzania warstwy.
Ten opis mógł być przetłumaczony automatycznie. W celu uzyskania dalszych informacji prosimy o kontakt. Informacje zawarte w tym ogłoszeniu mają jedynie charakter orientacyjny. Sugerujemy sprawdzić szczegóły ze sprzedawcą przed dokonaniem zakupu.