Opis
Rozmiar płytki/podłoża: do średnicy 6"/150
X,Y, Theta Stage
Płaskość powyżej 6": <10 µm
Rozdzielczość: 5 µm
Zakres ruchu: 155 x 155 mm
Skok obciążenia osi Y: 90 mm
Zakres regulacji wysokości Z: 10 mm
Skok styku/separacji Z: 3 mm
Skok theta (standardowy): 360°
Dokładny skok theta (opcjonalnie): ±10°
Uchwyt
Płaskość: 3 µm
Sztywność pionowa 6": <15 µm/10 N
Płyta ProbeHead
Typ mocowania: Próżniowe, magnetyczne, HF
Zakres ruchu: 40 mm
Skok styku/separacji: 0,2 mm
Powtarzalność: 1 µm
Narzędzia
Próżnia: -0,8 bar
Sprężone powietrze: 4 bar
Wymiary i waga
Szerokość x głębokość x wysokość: 490 x 490 x 480 mm
Waga: 60 kg
Ten opis mógł być przetłumaczony automatycznie. W celu uzyskania dalszych informacji prosimy o kontakt. Informacje zawarte w tym ogłoszeniu mają jedynie charakter orientacyjny. Sugerujemy sprawdzić szczegóły ze sprzedawcą przed dokonaniem zakupu.