Descrição
RTP ANNEALSYS AS-Micro forno de 2017 + bomba + computador
Condição perfeita. Data de 2017.
Entregue com:
- Bomba de vácuo e bomba de evacuação Agilent IDP3A01
- controlar computador, software e código de usuário.
- manual
O AS-Micro é um processador térmico compacto de bancada de três polegadas com capacidade de vácuo dedicado a aplicações de pesquisa. Ele pode processar substratos de alguns milímetros quadrados até 3 polegadas de diâmetro ou quadrado. Susceptores opcionais estão disponíveis para armazenar pequenas amostras e processar substratos com baixa absorção de infravermelho.
A câmara de processamento de tubo de quartzo com flanges de aço inoxidável e um forno tubular com lâmpadas halógenas infravermelhas permite processar até 1250°C com taxas de rampa muito rápidas (> 250°C/s). O controlador de temperatura de última geração garante um controle preciso da temperatura.
A porta de movimento horizontal com bandeja de quartzo fornece fácil acesso para carga e descarga de wafer e instalação de termopar.
Características
O forno oferece a maior taxa de rampa de até 250°C/s para wafers de 2".
Faixa de temperatura: temperatura ambiente a 1250°C
Taxa de rampa de até 250°C/s em substrato de silício de 2 polegadas de diâmetro, 200°C/s em substrato de 3 polegadas.
Capacidade de mistura de gases com controladores de fluxo de massa
Faixa de vácuo: Atm a 10-2 Torr (10-6 Torr com bomba turbo opcional)
Controle de temperatura por termopar com controlador de temperatura PID digital rápido
Controle total do PC com software compatível com Windows
para laboratório de eletroquímica e nanomateriais de semicondutores / de semicondutores / de wafer
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