Descrição
Mandril de vácuo de 6
Par de microposicionadores PH500 com base de vácuo
A mesa de isolamento de vibrações Kinetic opcional acresce $1600.
Câmara a cores Infinity 2-3 de 3,3mp opcional com monitor, PC e software
Mitutoyo FS60 stereozoom com objectivas APO 10x/20x
Iluminador de fibra ótica MOTIC
Coletor de vácuo
A SUSS PM5 é uma estação de sondagem para medições eléctricas (DC e HF) em wafers, chips e substratos até 150 mm.
Possui dois SUSS ProbeHeads colocados na placa estável, com espaço para sondas adicionais, se necessário.
A altura da placa pode ser ajustada até 40 mm, permitindo uma configuração rápida e fácil do sistema.
A separação de contacto adicional de 200 μm garante um ajuste fino preciso do prato da sonda.
Os 2 ProbeHeads (movimentos X, Y, Z) estão ligados ao prato por vácuo.
Uma ponte metálica, que abrange a largura do sistema de sonda e está fixada à base, suporta o microscópio.
O microscópio está equipado com objectivas de distância de trabalho extra-longa de 10x, 20x, 50x e ocular de 10x.
A platina bloqueia no lugar e proporciona um ajuste fino adicional na direção Z.
Uma platina extraível permite carregar e descarregar o seu DUT de forma rápida e ergonómica.
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