Descrição
Controlador de mandril térmico e sistema de mandril térmico
O Sistema TP03500 consiste em um controlador de baixo ruído; um conjunto de mandril a vácuo com temperatura controlada e opções de resfriamento à sua escolha. Disponível em diâmetros de 200 mm (8 polegadas) ou 300 mm (12 polegadas), o ThermoChuck acomoda uma variedade de tamanhos de wafer. Todos os ThermoChucks têm a capacidade de desligar os anéis de vácuo externos para melhor “manter” os wafers menores. A superfície do mandril é eletricamente isolada e revestida (ouro, níquel, anodizado ou outro) para sua aplicação.
Para caracterização de dispositivos e medições analíticas em wafers e híbridos, quando o objetivo é manter o contato da sonda durante variações de temperatura, a Temptronic oferece o Constant Height ThermoChuck. Projetado utilizando a tecnologia patenteada Temptronic, o Constant Height ThermoChuck mantém o crescimento tão baixo quanto 50 mícrons e o nivelamento até 50 mícrons em toda a faixa de temperatura.
Características
O design patenteado do ThermoChuck oferece excepcional estabilidade e precisão térmica e mecânica
- Uniformidade de temperatura superior:
- Planicidade da superfície
Paralelismo superfície-base: <20 mícrons @+200°C
- Isolamento de superfície: > padrão 109 ohms; >1014 ohms disponíveis
- O sistema de controle DC de baixo ruído mantém o ruído elétrico ao mínimo
- Design de sistema modular para atualizações de sistema convenientes e econômicas conforme o diâmetro do wafer
e os requisitos de temperatura mudam
Aprovado pela CE, ETL listado para EUA e Canadá e compatível com os padrões SEMI S2-93A
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