Descriere
Producător: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SISTEM SPUTTERING
3 ȚINTE
VALVĂ AUTOMATĂ/MANUALĂ
POMPĂ MECANICĂ CU ACȚIONARE DIRECTĂ
POMPĂ DE DIFUZIE
POATE FI MODERNIZAT CU DISPOZITIV ROTATIV PENTRU A SUSȚINE (4) PLACHETE DE 8
Airco Temescal HRS 2550 este un sistem sputtering. Acesta are 3 ținte, valvă automată/manuală, pompă mecanică cu acționare directă și pompă de difuzie. De asemenea, are o sursă de alimentare r/f. Poate face upgrade la capul Cryopump CTI-10 reconstruit cu compresor.
Date tehnice
Dimensiuni 16 inch înălțime x 25,5 inch
diametru (406 mm x 647,7 mm)
Fixare: suporturi pentru substraturi montate vertical în carusel, capacitate flip-flop opțională
Capacitate: (minim) 64 de plachete de 2 inchi (51 mm)
Ecranare: minim 3-bounce
Încălzirea substratului: maximum 3 kW
Număr de catozi: maximum trei Supapă manuală cu burduf de admisie a argonului cu capacitate de dozare
Cabină de vid (inclusiv incinta electronică): 82,5 inch înălțime (cu dulap
consola de deasupra cabinetului) x 64 inch lățime x 40 inch adâncime (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Sursă de alimentare (inclusiv consolele de control):
36 inci înălțime x 25,5 inci lățime x 25,5 inci adâncime (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Ratele tipice de depunere statică: 15,000
A/minut aluminiu, 20.000 A/minut cupru
Distribuție: � 5% cu mascarea sursei
Dimensiuni țintă: 8,25 inci x 3,56 inci (210 mm x 90 mm)
Tensiune de funcționare: -400 până la -800V dc potențial catodic (rate de depunere de vârf la
-400 până la -500V dc)
Nivelul maxim al puterii de funcționare: 5 KW. 0,2 până la 7A
Presiunea de funcționare: 1 x 10-2 până la 1 x 10-3 torr
Apă de răcire: (0,5 gpm la 20�C)per sursă
Putere de ieșire: 5 kW 5 kW, curent reglabil de la 0,2A
la 7A; tensiune de la 50V dc la 800V dc;
în funcție de presiune
Ciclu de funcționare: 100%
Contorizare: curent de ieșire, de la 0 la 1A, și de la 0 la
10A, scara dc; tensiune catodică la masă,
0 până la 1,5 kV dc; tensiune anod la masă,
0 până la 150V dc
Blocări: alimentare, uși de cabină, apă, capacul camerei și presiunea camerei
Utilizare necesară: 208/230 V CA, 25 A, 50/60 Hz, trifazat
Vidul final: interval de 10-8 torr
Pompă de difuzie: 5300 litri/secundă, 10 inch înălțime x 16 inch d.i.
Pompă mecanică: 35 cfm (1000 litri/secundă, etaj dublu)
Capcană de răcire: capacitate de 4,5 litri; suprafață de 1,67 m2 (2600 inch pătrați)
Supapă de vid înalt: 406 mm (16 inch) d.i., cu burduf etanșat
Supapă de ocolire a vidului înalt: 75 mm (3 inch) d.i., conductanță variabilă
Supapă de refulare și supapă de degroșare: 51 mm (2 inch) d.i.
Acționarea supapei: electropneumatică (toate supapele de vid)
Secvențierea supapei: manuală și automată
Vă rugăm să rețineți că este posibil ca această descriere să fi fost tradusă automat. Contactați-ne pentru mai multe informații. Informatiile acestui anunt sunt doar orientative. Exapro recomandă să verificați detaliile cu vânzătorul înainte de o achiziție