Descriere
Pompa de vid uscat iXH6045H
Prezentare generală a produsului
Seria de pompe uscate iXH este special concepută pentru procesele solicitante din producția de semiconductori, afișaje cu ecran plat și aplicații solare. Oferă un cost redus de proprietate cu un consum de energie cu 10% mai mic comparativ cu modelele anterioare. Pompa dispune de o manipulare îmbunătățită a pulberilor cu tehnologia Gas Buster™, o gamă largă de temperaturi de funcționare pentru a minimiza acumularea de subproduse și o tehnologie de etanșare îmbunătățită pentru a prelungi durata de viață a pompei și a reduce riscurile de scurgere.
Specificații
Model: ACHD02123300XS
Tensiune: 380-460V
Înaltă tensiune: 6000V
Modul de gaz: Mod unic (debit 44 sL/min)
Evacuare: Standard fără supapă de reținere
Etanșări: Standard Standard
Motor pompă: 11 kW
Motor Booster: 7.5 kW
Aplicații
Aplicații high-k și low-k
Procese SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN și EPI
CVD, PECVD și MOCVD
Strip/ashing, oxid etch, metal etch și sursă de implant
Specificații tehnice
Dimensiuni:
Lungime: 1080 mm
Lățime: 517 mm
Înălțime: 966 mm
Performanță:
Viteza de pompare: 5000 - 5200 m³/h
Vidul final: < 5 x 10-³ mbar
Presiunea maximă de intrare: 1000 mbar
Răcire:
Debit de apă: 12 l/min
Presiunea de alimentare cu apă: 6,9 bar (100 psig)
Caracteristici principale
Viteze mari de pompare a hidrogenului, ideale pentru procese EPI și solare avansate
Design compact cu o amprentă mai mică pentru o integrare ușoară în instalațiile de fabricație
Conformitate cu standardele UL, CE și S2
Această pompă este optimizată pentru medii solicitante în care capacitatea de proces îmbunătățită, eficiența energetică și un design compact sunt cruciale. Pentru detalii suplimentare și îndrumări operaționale, consultați manualul complet al produsului.
Vă rugăm să rețineți că este posibil ca această descriere să fi fost tradusă automat. Contactați-ne pentru mai multe informații. Informatiile acestui anunt sunt doar orientative. Exapro recomandă să verificați detaliile cu vânzătorul înainte de o achiziție