Descriere
Sistem Gasonics/IPC 9104 pentru cenușă și cerneală
butoi de cuarț de 12" (diametru) x 20" (adâncime)
pompare moale și supapă de purjare
design cu conținut scăzut de particule
2 intrări de gaz cu debit masic cu racorduri VCR
toate țevile SS,
computer cu mai multe canale/placă simplă controlat, cu stocare floppy
monitor de temperatură
Generator RF ENI OEM 12B 1250W
Dimensiuni wafer: 4", 6", 8" capacitate
Capacitate: 50 plachete de 8", 50-75 plachete de 6", 100 plachete de 4".
Cameră: Cuarț, compatibil cu chimia fluorurată. 12" diametru x 20" adâncime. Electrozi RF externi.
Generator RF: 1250 watt 13,56 MHz răcit cu aer cu rețea automată de adaptare a impedanței. Răcit cu apă opțional.
Presiunea procesului: Aproximativ 120 - 2000 mtorr.
Robinetărie din oțel inoxidabil.
Monitor de temperatură: Termocuplu acoperit cu cuarț situat în camera de procesare.
Afișaj: Ecran tactil color de 12,1" pentru controlul și monitorizarea parametrilor procesului, a rețetelor automate sau a tratamentelor manuale cu plasmă.
Patru gaze specificate de utilizator, cu MFC-uri din oțel inoxidabil de 500 sccm sunt standard, cu un al treilea și/sau al patrulea canal de gaz opțional disponibil.
Cerințe de alimentare: 208 - 240 volți, 3 faze, 50/60 Hz 5 fire "wye".
O carcasă NEMA-12 pentru montare pe perete, cu mâner de blocare, conține controlul curentului alternativ pentru asher, sursa de alimentare și pompă, permițând o singură sursă de alimentare pentru întregul sistem.
Certificat CE.
Vă rugăm să rețineți că este posibil ca această descriere să fi fost tradusă automat. Contactați-ne pentru mai multe informații. Informatiile acestui anunt sunt doar orientative. Exapro recomandă să verificați detaliile cu vânzătorul înainte de o achiziție