ULTRATECH SAVANNAH G2 ALD

Descriere

ULTRATECH SAVANNAH G2
Sistem de depunere cu laser atomic
Volți: 100-120 VAC
KVA: 1.5KVA-2KVA
HERTZ: 50-60 Hz
Platforma Savannah G2 încorporează o gamă largă de opțiuni avansate care pot fi actualizate pe teren, menite să ajute cercetătorii serioși în extinderea portofoliului de filme ALD disponibile, precum și să le permită să caracterizeze filmele în timp real. Printre opțiunile Savannah G2, a fost dezvoltat un sistem unic de livrare a precursorului cu vapori reduși pentru a permite creșterea de materiale noi, inclusiv filme monocomponente și multicomponente din Perovskite, Yttrium, Litiu și familiile de pământuri rare. Opțiunile suplimentare precum elipsometria, microbalanța cu cristal de cuarț (QCM) și spectrometria de masă permit creșterea simultană a filmelor ALD și caracterizarea în timp real a procesului de depunere, toate acestea fiind capacități indispensabile pentru activitățile de dezvoltare și optimizare a proceselor.