описание
RTP ANNEALSYS AS-Micro печь с 2017 года + насос + компьютер
Идеальное состояние. Дата 2017.
Поставляется с:
- Вакуумный насос Agilent IDP3A01 и вакуумный насос
- управляющий компьютер, программное обеспечение и код пользователя.
- руководство
AS-Micro — это компактный трехдюймовый настольный термопроцессор с вакуумными возможностями, предназначенный для исследовательских приложений. Он может обрабатывать подложки от нескольких квадратных миллиметров до 3 дюймов в диаметре или квадратных. Доступны дополнительные токоприемники для удержания небольших образцов и обработки подложек с низким поглощением инфракрасного излучения.
Технологическая камера с кварцевой трубкой с фланцами из нержавеющей стали и трубчатая печь с инфракрасными галогенными лампами позволяют обрабатывать температуру до 1250°C с очень высокой скоростью изменения температуры (> 250°C/с). Современный регулятор температуры обеспечивает точный контроль температуры.
Горизонтальная дверца с кварцевым лотком обеспечивает легкий доступ для загрузки и выгрузки пластин и установки термопар.
Функции
Печь обеспечивает максимальную скорость линейного нагрева до 250°C/с для 2-дюймовых пластин.
Диапазон температур: от комнатной до 1250°C
Скорость линейного изменения до 250°C/с на кремниевой подложке диаметром 2 дюйма, до 200°C/с на 3-дюймовой подложке.
Возможность смешивания газов с регуляторами массового расхода
Диапазон вакуума: от атм до 10-2 торр (10-6 торр с дополнительным турбонасосом)
Контроль температуры термопарой с быстрым цифровым ПИД-регулятором температуры
Полное управление ПК с программным обеспечением, совместимым с Windows
для электрохимии и наноматериалов полупроводник / полупроводник / вафельная лаборатория
Данное описание может быть переведено автоматически. Свяжитесь с нами для получения дополнительной информации. Информация в данном объявлении носит ориентировочный характер. Мы рекомендуем перед покупкой станка уточнять детали у продавца.