Детальная информация

-------------------
Часы наработки
Часы включения
Состояние в хорошем состоянии
Маркировка CE ---------
Статус

описание

Размер вафли 300 мм
Технологическая система PE-ALD
Версия программного обеспечения Eagle I ASMJ (Windows Embedded XP/OS)
См. файл конфигурации ниже, чтобы загрузить его вместе с другими документами.
Полный комплект схем предоставляется по запросу.
Технологический оксид PE-ALD, HT-SiO/HT-SiN
Конфигурация оборудования (фаб):
Основная система ASM PE-ALD Базовый блок системы 1
Система погрузчика FI: Kawasaki/Vac: JEL 1
Заводской интерфейс ФОУП 2
Система опций
Другие технологические камеры (RC3/RC4) 2
Конфигурация оборудования (подфабрика/вспомогательные блоки):
Силовая стойка 1
Статус инструмента: Деинсталлирован, упакован и находится на хранении. (март 2023 г.)

ASM Eagle как новый. Он никогда не использовался в производстве, а использовался только для тестирования пластин. В одной камере возникла проблема с дроссельной заслонкой и проблемой с RF-генератором. RF Gen был заменен, но дроссельный клапан не был заменен, поэтому для тестирования пластин использовалась только одна камера. Панель сжиженного газа не использовалась. В комплект входят 2 запасных MFC.

Эта передовая машина использует технологию плазменного атомно-слоевого осаждения (PEALD) для создания ультратонких однородных покрытий на различных материалах подложки. Он способен создавать покрытия с исключительной однородностью и воспроизводимостью, что делает его идеальным для широкого спектра применений в полупроводниковой промышленности.
ASM Eagle XP5 — универсальный инструмент, который можно использовать для нанесения широкого спектра материалов, включая металлы, оксиды и другие соединения. Он также способен работать в диапазоне технологических давлений и температур, что делает его пригодным для использования в различных производственных условиях.
Помимо впечатляющих возможностей нанесения покрытий, ASM Eagle XP5 также создан с учетом долговечности и простоты обслуживания. Он имеет прочную конструкцию и подкреплен репутацией компании ASM как производителя высококачественного и надежного оборудования.

Данное описание может быть переведено автоматически. Свяжитесь с нами для получения дополнительной информации. Информация в данном объявлении носит ориентировочный характер. Мы рекомендуем перед покупкой станка уточнять детали у продавца.


Тип клиента Дилер
Активный с 2010
Предложения онлайн 38
Последняя активность 30 января 2025 г.

Описание

Размер вафли 300 мм
Технологическая система PE-ALD
Версия программного обеспечения Eagle I ASMJ (Windows Embedded XP/OS)
См. файл конфигурации ниже, чтобы загрузить его вместе с другими документами.
Полный комплект схем предоставляется по запросу.
Технологический оксид PE-ALD, HT-SiO/HT-SiN
Конфигурация оборудования (фаб):
Основная система ASM PE-ALD Базовый блок системы 1
Система погрузчика FI: Kawasaki/Vac: JEL 1
Заводской интерфейс ФОУП 2
Система опций
Другие технологические камеры (RC3/RC4) 2
Конфигурация оборудования (подфабрика/вспомогательные блоки):
Силовая стойка 1
Статус инструмента: Деинсталлирован, упакован и находится на хранении. (март 2023 г.)

ASM Eagle как новый. Он никогда не использовался в производстве, а использовался только для тестирования пластин. В одной камере возникла проблема с дроссельной заслонкой и проблемой с RF-генератором. RF Gen был заменен, но дроссельный клапан не был заменен, поэтому для тестирования пластин использовалась только одна камера. Панель сжиженного газа не использовалась. В комплект входят 2 запасных MFC.

Эта передовая машина использует технологию плазменного атомно-слоевого осаждения (PEALD) для создания ультратонких однородных покрытий на различных материалах подложки. Он способен создавать покрытия с исключительной однородностью и воспроизводимостью, что делает его идеальным для широкого спектра применений в полупроводниковой промышленности.
ASM Eagle XP5 — универсальный инструмент, который можно использовать для нанесения широкого спектра материалов, включая металлы, оксиды и другие соединения. Он также способен работать в диапазоне технологических давлений и температур, что делает его пригодным для использования в различных производственных условиях.
Помимо впечатляющих возможностей нанесения покрытий, ASM Eagle XP5 также создан с учетом долговечности и простоты обслуживания. Он имеет прочную конструкцию и подкреплен репутацией компании ASM как производителя высококачественного и надежного оборудования.

Данное описание может быть переведено автоматически. Свяжитесь с нами для получения дополнительной информации. Информация в данном объявлении носит ориентировочный характер. Мы рекомендуем перед покупкой станка уточнять детали у продавца.


Детальная информация

-------------------
Часы наработки
Часы включения
Состояние в хорошем состоянии
Маркировка CE ---------
Статус

Об этом продавце

Тип клиента Дилер
Активный с 2010
Предложения онлайн 38
Последняя активность 30 января 2025 г.

Вот выбор подобных станков

ASM Eagle XP5 PEALD Пластина