описание
Сухой вакуумный насос iXH6045H
Обзор продукции
Серия сухих насосов iXH специально разработана для сложных процессов в производстве полупроводников, плоских дисплеев и солнечных батарей. Они обеспечивают снижение стоимости владения за счет уменьшения потребления энергии на 10 % по сравнению с предыдущими моделями. Насос отличается улучшенной обработкой порошка благодаря технологии Gas Buster™, широким диапазоном рабочих температур для минимизации накопления побочных продуктов, а также улучшенной технологией уплотнения для увеличения срока службы насоса и снижения риска утечки.
Технические характеристики
Модель: ACHD02123300XS
Напряжение: 380-460 В
Высокое напряжение: 6000V
Газовый модуль: Однорежимный (расход 44 сл/мин)
Выхлоп: Стандартный без обратного клапана
Уплотнения: Стандартные
Двигатель насоса: 11 кВт
Бустерный двигатель: 7,5 кВт
Применение
Применения с высоким и низким коэффициентом К
Процессы SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN и EPI
CVD, PECVD и MOCVD
Стрип/стирание, травление оксидов, травление металлов и источник имплантатов
Технические характеристики
Размеры:
Длина: 1080 мм
Ширина: 517 мм
Высота: 966 мм
Производительность:
Скорость откачки: 5000 - 5200 м³/ч
Предельный вакуум: < 5 x 10-³ мбар
Максимальное давление на входе: 1000 мбар
Охлаждение:
Скорость потока воды: 12 л/мин
Давление подачи воды: 6,9 бар (100 фунтов на кв. дюйм)
Основные характеристики
Высокая скорость перекачки водорода идеально подходит для передовых процессов EPI и солнечной энергетики
Компактная конструкция с меньшей площадью основания для легкой интеграции в производственные мощности
Соответствие стандартам UL, CE и S2
Этот насос оптимизирован для работы в сложных условиях, где решающее значение имеют расширенные технологические возможности, энергоэффективность и компактная конструкция. Для получения более подробной информации и руководства по эксплуатации, пожалуйста, обратитесь к полному руководству по продукту.
Данное описание может быть переведено автоматически. Свяжитесь с нами для получения дополнительной информации. Информация в данном объявлении носит ориентировочный характер. Мы рекомендуем перед покупкой станка уточнять детали у продавца.