описание
Система золирования/протравливания Gasonics/IPC 9104
Кварцевая бочка 12"(диам.) x 20"(д.)
мягкая откачка и клапаны продувки
конструкция с низким содержанием твердых частиц
2ea газовых входа с массовым расходом и фитингами VCR
вся сантехника SS,
многоканальный/одноплатный компьютер с дискетным управлением
монитор температуры
ENI OEM 12B 1250W RF генератор
Размер пластин: 4", 6", 8"
Производительность: 50 8" пластин, 50-75 6" пластин, 100 4" пластин.Â
Камера: Кварцевая, совместимая с фторированной химией. Диаметр 12" x глубина 20". Внешние радиочастотные электроды.
РЧ-генератор: 1250 Вт 13,56 МГц с воздушным охлаждением и автоматической сетью согласования импеданса. Опционально возможно водяное охлаждение.
Давление процесса: Приблизительно 120 - 2000 мторр.
Сантехника из нержавеющей стали.
Контроль температуры: Термопара с кварцевым покрытием, расположенная в технологической камере.
Дисплей: Цветной 12,1-дюймовый сенсорный экран для управления и мониторинга параметров процесса, автоматических рецептов или ручной плазменной обработки.
Четыре газа, заданные пользователем, с МФК из нержавеющей стали производительностью 500 куб. м входят в стандартную комплектацию, опционально можно установить 3-й и/или 4-й газовый канал.
Требования к питанию: 208 - 240 вольт, 3 фазы, 50/60 Гц, 5 проводов "wye".
Корпус NEMA-12 для настенного монтажа с блокирующей ручкой содержит блок управления питанием переменного тока для ашера, блока питания и насоса, что позволяет использовать один источник питания для всей системы.
Сертифицировано CE.
Данное описание может быть переведено автоматически. Свяжитесь с нами для получения дополнительной информации. Информация в данном объявлении носит ориентировочный характер. Мы рекомендуем перед покупкой станка уточнять детали у продавца.